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化學(xué)氣相沉積產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
| 儀器種類 | 回轉(zhuǎn)爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池 |
化學(xué)氣相沉積詳細(xì)信息
迷你智能型等離子體可回轉(zhuǎn)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
1.該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn)，管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻；
2.該款設(shè)備是全自動(dòng)Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)（PECVD）,系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)滑動(dòng)溫區(qū)，連續(xù)可控溫度以及Plasma強(qiáng)度等，配備真空系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)低壓條件下的實(shí)驗(yàn)，針對(duì)低溫石墨烯、碳納米管生長(zhǎng)等。PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。
化學(xué)氣相沉積的技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | BTF-1200C-S-R-PECVD |
顯示模式 | 7"液晶觸屏顯示 |
最高溫度 | 1200℃ |
升溫速率 | 10℃/S |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 230mm |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
熱電偶 | K型 |
控溫方式 | 7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫，模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能。 |
爐管尺寸 | Φ25*800mm |
爐管轉(zhuǎn)速 | 3~13r/min |
傾斜角度 | 0~35° |
加熱功率 | 3KW |
射頻功率輸出范圍 | 0~500W |
供氣系統(tǒng) | 標(biāo)配三路質(zhì)量流量計(jì)（50/100/200sccm） |
供電電源 | 220V50Hz |
通訊接口 | USB |
外形尺寸 | 1600mm*650mm*1400mm |
設(shè)備凈重 | 約220KG |
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