化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
移動(dòng)端訪問(wèn)更便捷
集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)以新能源設(shè)備和材料研發(fā)為主營(yíng)業(yè)務(wù)的有限公司
查看更多產(chǎn)品簡(jiǎn)介
智能型PECVD系統(tǒng)產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
智能型PECVD系統(tǒng)詳細(xì)信息
該設(shè)備主要分為四大部分：多溫區(qū)管式爐、射頻組件、氣路系統(tǒng)、及自動(dòng)化控制軟件集成系統(tǒng)。
1、開(kāi)啟式加熱爐
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，6點(diǎn)控溫；設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可電動(dòng)開(kāi)啟方便客戶更換維修反應(yīng)管。
2、氣路系統(tǒng)
可由質(zhì)量流量計(jì)精確控制多路氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，另外單獨(dú)1路過(guò)鼓泡器后進(jìn)入反應(yīng)管內(nèi)。
3、射頻組件
1000W高性能射頻輝光均勻，可使整個(gè)反應(yīng)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)。
4、 智能控制系統(tǒng)
采用智能PID模糊控制，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報(bào)警功能。
最高溫度 | 1200℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
熱電偶 | K型 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能，人機(jī)界面加PLC控制，15寸液晶屏控制，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀和軟件實(shí)現(xiàn)雙控 |
加熱總功率 | ≤15KW |
加熱區(qū)尺寸 | 300+300+300mm |
射頻功率 | 1000W |
設(shè)備尺寸 | 2550*850*1600mm |
設(shè)備重量 | 約600KG |
關(guān)聯(lián)品牌
留言咨詢
移動(dòng)站：智能型PECVD系統(tǒng)
內(nèi)容聲明：
您訪問(wèn)的智能型PECVD系統(tǒng)產(chǎn)品信息，由安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司自行發(fā)布提供，產(chǎn)品價(jià)格為面議，如您想了解更多關(guān)于智能型PECVD系統(tǒng)型號(hào)、參數(shù)、用途等信息，歡迎咨詢。
該內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布會(huì)員負(fù)責(zé)，為保障安全，建議您在購(gòu)買相關(guān)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)以及產(chǎn)品質(zhì)量！
相關(guān)分類
Categories
該廠商其他產(chǎn)品
Other Products
相關(guān)技術(shù)文章
Tech Articles
- ADCMT 新品超低噪聲硬件架構(gòu)工作原理深度解析
- CHINA維修中心-代理TORAY 東麗濃度計(jì)主要指工業(yè)用
- 三菱2.5L厭氧產(chǎn)氣袋使用指南
- 實(shí)驗(yàn)室計(jì)量溯源場(chǎng)景 ADCMT 儀器落地解決方案
- ：ADCMT 新品分模塊維修保養(yǎng)規(guī)范
- ADCMT 全新精密測(cè)量?jī)x器系列核心技術(shù)參數(shù)詳解
- ADCMT 全新精密測(cè)量?jī)x器全流程操作使用指南
- 告別血清：細(xì)胞凍存進(jìn)入“成分明確”新時(shí)代
- 從腫瘤組織到回輸制劑：西班牙TIL生產(chǎn)實(shí)踐帶來(lái)的
- 您是否想把更多時(shí)間花在重要的事情上？
采購(gòu)中心
用戶評(píng)論
發(fā)布評(píng)論