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間歇式CVD回轉(zhuǎn)爐產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
間歇式CVD回轉(zhuǎn)爐詳細(xì)信息
1、該款設(shè)備由控制柜和加熱爐組成，控制柜為密封殼體，內(nèi)置電路板和氣路板，外部可通過(guò)觸摸屏及 手閥操控電路和氣路；加熱爐由一臺(tái)三溫區(qū)開(kāi)啟式管式爐及相應(yīng)配件組成，爐管可回轉(zhuǎn)；
2、加熱爐左端法蘭是進(jìn)氣端，由截止閥+VCR 接頭組成進(jìn)氣端，法蘭上配有自動(dòng)泄壓裝置（傳感器+電 磁閥）；右端法蘭為出氣端，由球閥+VCR 接頭組成出氣端，抽口由手動(dòng)擋板閥搭配防爆變頻真空泵組成； 爐管內(nèi)配有擋料組件，防止實(shí)驗(yàn)材料流失。整套設(shè)備氣路接口為 VCR1/4 接口。
額定電壓 | 380V |
功率 | 13KW |
使用溫度 | 500-1000℃ |
爐管尺寸 | 金屬管φ80mm×φ150mmX1700mm （兩端*中間*總長(zhǎng)） |
加熱元件 | 電阻絲 |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 300mm*300*300 |
爐管回轉(zhuǎn)速度 | 0-7rpm |
熱電偶類型 | K 型熱電偶 |
質(zhì)量流量計(jì) | 0-2L/Min D07-19B（4 路） |
浮子流量計(jì) | 2-20L/min 氣體 |
設(shè)備尺寸 | 控制柜：長(zhǎng) 1132mm×寬 1000mm×高 1900mm；加熱爐：長(zhǎng) 2500mm×寬 630mm×高 1300mm |
設(shè)備總重 | 700KG |
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