山本鍍金 電鍍?cè)O(shè)備 密閉用減壓裝置

面向封測(cè)中試實(shí)驗(yàn)室、優(yōu)良封裝研發(fā)中心、功率半導(dǎo)體研究所、精密電鍍工藝企業(yè)；專攻超高深孔、盲孔、微溝槽、MEMS 結(jié)構(gòu)批量除氣浸潤(rùn)驗(yàn)證，日系進(jìn)口中試級(jí)密閉減壓設(shè)備，

山本鍍金 電鍍?cè)O(shè)備 密閉用減壓裝置

全密閉承壓腔體設(shè)計(jì)（核心優(yōu)勢(shì)）

整體密封耐壓結(jié)構(gòu)，極限真空度更高、保壓穩(wěn)定性遠(yuǎn)優(yōu)于敞開式 A-52-AVS；杜絕外界空氣滲入，適配超高深寬比（＞10:1）TSV 嚴(yán)苛除氣需求。

20A 整機(jī)一體化配置

內(nèi)置耐腐蝕隔膜真空泵、壓力傳感器、時(shí)序控制器、氣路管路集成；20W 僅腔體本體，靈活外自有真空機(jī)組，選配靈活。

可編程真空工藝時(shí)序

可設(shè)定抽真空速率、負(fù)壓閾值、保壓時(shí)長(zhǎng)、階梯破真空節(jié)奏，工藝參數(shù)可存儲(chǔ)調(diào)用，多批次試驗(yàn)一致性強(qiáng)，滿足工藝定型、數(shù)據(jù)溯源要求。

原生兼容全系 A-52 陰極夾具

直接匹配 P02A 敞開、P02B 密封、P02C 負(fù)壓吸封三類陰極卡匣，2~12 英寸晶圓通用裝夾，預(yù)處理后可整機(jī)轉(zhuǎn)運(yùn)電鍍槽，無需拆裝晶圓。

耐蝕防腐氣液接觸部件

腔體、管路、接頭采用 PP、PTFE 防腐材質(zhì)，耐受各類酸堿電鍍藥液、活化液、浸潤(rùn)液，長(zhǎng)期耐化學(xué)腐蝕，最高適配 80℃預(yù)處理工況。

批量試樣處理能力

腔體內(nèi)部空間更大，單次可放置多片試片 / 小片晶圓，對(duì)比單工位桌面款，研發(fā)迭代效率更高，適配小批量工藝摸索。

多重安全聯(lián)鎖防護(hù)

腔體門互鎖、超壓泄壓、真空異常報(bào)警、超時(shí)停機(jī)保護(hù)；避免開蓋負(fù)壓沖擊，實(shí)驗(yàn)室運(yùn)行安全性冗余充足。