山本鍍金 電鍍?cè)O(shè)備 減壓槽

A-52 電鍍系統(tǒng)配套專用真空減壓預(yù)處理槽，屬于 A-52-ST 晶圓電鍍整套工藝前置關(guān)鍵輔機(jī)，搭配真空泵組成負(fù)壓脫氣單元；區(qū)別常規(guī)電鍍水槽，專門做入槽前真空除泡預(yù)處理，可配套陰極卡匣、A-57 電鍍電源、溫控液位系統(tǒng)形成完整 TSV 高深孔電鍍工藝流程。

山本鍍金 電鍍?cè)O(shè)備 減壓槽

負(fù)壓除泡核心作用（差異化優(yōu)勢(shì)）

密閉腔體內(nèi)形成可控負(fù)壓，微孔內(nèi)部滯留氣泡膨脹析出排出，解決常規(guī)浸泡氣體截留難題，從根源杜絕電鍍空洞、漏鍍、針孔不良，適配 5:1 以上超高深寬比 TSV 結(jié)構(gòu)。

工件 + 鍍液雙重脫氣

既可對(duì)裝載晶圓做結(jié)構(gòu)排氣，也可對(duì)預(yù)注入槽內(nèi)電鍍液脫除溶解氧，減少鍍層氧化、麻點(diǎn)，穩(wěn)定鍍液體系使用壽命。

原生匹配 A-52 全系夾具

直接兼容 P02A 敞開(kāi)式、P02B 密封式、P02C 負(fù)壓式陰極卡匣，2~12 英寸晶圓通用裝夾，換片、轉(zhuǎn)序無(wú)需重新拆裝晶圓，工藝銜接高效。

耐蝕密閉腔體結(jié)構(gòu)

腔體采用亞克力 / PP 防腐材質(zhì)，耐受酸堿各類電鍍前處理藥液、預(yù)鍍藥液；密封門密封性能優(yōu)異，長(zhǎng)時(shí)間反復(fù)抽真空無(wú)泄壓滲漏。

可編程真空時(shí)序控制

可設(shè)定抽真空時(shí)長(zhǎng)、負(fù)壓閾值、破真空節(jié)奏，適配不同孔徑、深度微結(jié)構(gòu)定制除氣工藝，多批次平行試驗(yàn)參數(shù)一致性強(qiáng)，數(shù)據(jù)可溯源。

前置工藝閉環(huán)配套

銜接清洗→減壓除氣→正式電鍍完整工序，優(yōu)化高深孔藥液浸潤(rùn)提升整片晶圓膜厚均勻性與盲孔填充飽滿度。