日本KANKEN半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備

KPL-WTR 是一款大流量、高能效、緊湊型半導(dǎo)體工藝廢氣處理裝置，專為 300mm 先進(jìn)晶圓產(chǎn)線設(shè)計(jì)，是 KPL 系列中處理能力強(qiáng)的型號。它采用新型高溫噴槍技術(shù)，可高效分解含 CF?在內(nèi)的高濃度全氟化碳（PFCs），同時兼顧節(jié)能與空間利用，是應(yīng)對半導(dǎo)體蝕刻 / 沉積工藝中強(qiáng)效溫室氣體排放的核心環(huán)保設(shè)備。

日本KANKEN半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備

五大核心產(chǎn)品優(yōu)勢

1. 99%+ 高效分解 PFCs，攻克難降解 CF?

搭載新型高溫噴槍技術(shù)，可將包括 CF?在內(nèi)的頑固 PFCs 分解率提升至99% 以上，滿足嚴(yán)苛環(huán)保法規(guī)對強(qiáng)效溫室氣體的排放限制，是半導(dǎo)體工廠實(shí)現(xiàn)碳中和目標(biāo)的關(guān)鍵設(shè)備。

2. KPL 系列最高處理流量，適配大規(guī)模產(chǎn)線

作為 KPL 系列的高流量增強(qiáng)版，擁有同系列中最高的處理能力，可直接對接 300mm 晶圓廠多條蝕刻 / 沉積設(shè)備的集中廢氣排放，大幅降低設(shè)備臺數(shù)與產(chǎn)線部署成本。

3. 節(jié)能型設(shè)計(jì)，熱交換器回收利用熱量

配備緊湊型電源與高效熱交換器，可回收廢氣分解過程中的熱量，顯著降低設(shè)備運(yùn)行能耗，相比傳統(tǒng) PFC 處理設(shè)備，節(jié)能效果突出，長期運(yùn)營成本更低。

4. 緊湊占地設(shè)計(jì)，適配高密度潔凈廠房

采用緊湊型模塊化結(jié)構(gòu)，大幅減少設(shè)備占地面積，可直接安裝于空間緊張的 300mm 先進(jìn)工廠中，無需額外擴(kuò)建廠房，是高密度潔凈廠房的理想選擇。

5. 成熟工藝驗(yàn)證，適配多種先進(jìn)制程

在全球多家 300mm 半導(dǎo)體工廠的蝕刻、沉積等先進(jìn)工藝中擁有成熟驗(yàn)證業(yè)績，設(shè)備穩(wěn)定性與處理效率經(jīng)過市場長期檢驗(yàn)，可穩(wěn)定適配多種復(fù)雜工藝廢氣工況。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體蝕刻工藝：300mm 晶圓廠干法蝕刻、反應(yīng)離子蝕刻（RIE）工藝中 PFCs 廢氣處理。

半導(dǎo)體沉積工藝：化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）工藝廢氣無害化處理。

先進(jìn)半導(dǎo)體工廠：高密度潔凈廠房中，大規(guī)模產(chǎn)線集中廢氣處理系統(tǒng)部署。

環(huán)保合規(guī)場景：應(yīng)對嚴(yán)苛環(huán)保法規(guī)，實(shí)現(xiàn) PFCs 超低排放，助力半導(dǎo)體工廠碳中和。