日本KANKEN工藝廢氣處理設(shè)備熱氧化分解裝置

KT1000MOC 是日本 KANKEN Techno 專(zhuān)為MO-CVD 工藝開(kāi)發(fā)的大流量廢氣無(wú)害化處理裝置，采用 “反應(yīng)熱自維持氧化" 技術(shù)，無(wú)需燃料氣、無(wú)需持續(xù)電加熱，可安全、高效處理 MO 源、NH?、H?、SiH?等復(fù)雜工藝廢氣，是 LED、功率器件、第三代半導(dǎo)體制造的核心環(huán)保設(shè)備。

日本KANKEN工藝廢氣處理設(shè)備熱氧化分解裝置

五大核心產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. 反應(yīng)熱自維持技術(shù)，H?處理時(shí)零耗電

利用大流量 NH?、H?反應(yīng)釋放的熱量實(shí)現(xiàn)自維持燃燒，處理高濃度氫氣時(shí)加熱器功率幾乎為零，無(wú)需持續(xù)電加熱，大幅降低運(yùn)行能耗，是 MO-CVD 工藝的節(jié)能方案。

2. 無(wú)燃料氣、無(wú)排水設(shè)計(jì)，綠色環(huán)保

全程不使用化石燃料，不產(chǎn)生額外 CO?排放；同時(shí)采用無(wú)排水工藝，避免廢水處理成本與二次污染，符合半導(dǎo)體工廠(chǎng)低碳環(huán)保與潔凈廠(chǎng)房管理要求。

3. 全系列安全防護(hù)，杜絕工藝風(fēng)險(xiǎn)

搭載*的故障保護(hù)機(jī)制：入口溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氣體溫度，異常時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)緊急泄壓裝置；逆火防止安全閥可快速切斷氣流，杜絕回火風(fēng)險(xiǎn)，保障 MO-CVD 工藝穩(wěn)定運(yùn)行。

4. 適配大流量 MO-CVD 工藝，處理效率行業(yè)

專(zhuān)為 MO-CVD 工藝的大流量、高濃度復(fù)雜廢氣設(shè)計(jì)，可高效氧化分解 MO 源、NH?、H?、SiH?等多種成分，處理效率高，滿(mǎn)足嚴(yán)苛環(huán)保法規(guī)與工藝安全要求。

5. 成熟應(yīng)用驗(yàn)證，適配 LED 與功率器件產(chǎn)線(xiàn)

在全球半導(dǎo)體工廠(chǎng)的 LED、功率器件、第三代半導(dǎo)體制造工藝中擁有大量成功應(yīng)用案例，設(shè)備穩(wěn)定性與工藝兼容性經(jīng)過(guò)市場(chǎng)長(zhǎng)期驗(yàn)證，是大規(guī)模 MO-CVD 產(chǎn)線(xiàn)的標(biāo)配設(shè)備。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

LED 行業(yè)：藍(lán)綠光 LED、Mini/Micro LED 外延工藝 MO-CVD 廢氣處理。

功率器件行業(yè)：IGBT、MOSFET 等功率器件外延工藝廢氣處理。

第三代半導(dǎo)體行業(yè)：SiC、GaN 外延工藝 MO-CVD 廢氣無(wú)害化處理。

先進(jìn)半導(dǎo)體工廠(chǎng)：MO-CVD 工藝集中廢氣處理系統(tǒng)部署，適配高密度潔凈廠(chǎng)房。