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宮崎科技（廈門）有限公司
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DF2600系列OHKURA/大倉解調(diào)器立式熱處理爐控制器
| 參考價: | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- DF2600系列 產(chǎn)品型號
- OHKURA/大倉 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：24更新時間：2026-06-23 10:31:26
馮女士
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- 網(wǎng)址：
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產(chǎn)品簡介
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,制藥/生物制藥,汽車及零部件,綜合 |
|---|
產(chǎn)品介紹
OHKURA/大倉解調(diào)器立式熱處理爐控制器DF2600系列
OHKURA/大倉解調(diào)器立式熱處理爐控制器DF2600系列
DF2600 是日本大倉電氣整機立式擴散熱處理爐，用于半導體晶圓氧化、擴散、退火工藝；你提到的解調(diào)器 / 控制器是設(shè)備內(nèi)置整套控制通信單元，配套自研溫控主板 + ET 系列信息傳輸解調(diào)模塊（和 ET0100 同通信體系），實現(xiàn)爐體溫度、氣路、機臺 I/O 遠程解調(diào)傳輸與全自動工藝管控。
特色
■ 成本效益：在引入時為客戶提供響應(yīng)的定制
和縮短的安裝時間，實現(xiàn)
了實惠的價格
■ 安裝性能
：設(shè)備外部
兼容現(xiàn)有潔凈室 主單元尺寸：H2600×W900×D1280
■ 維護性能
：關(guān)鍵組件和軟件由內(nèi)部開發(fā)，支持未來
持續(xù)維護
?！?可定制性能：可
滿足
客戶需求，提供多種定制。
■ 產(chǎn)品性能：節(jié)省占地
面積，可替代
水平爐
■ 能效性能：通過開發(fā)
高效加熱器，實現(xiàn)
了比我公司節(jié)省10%的能源 可選支持支持高速溫度調(diào)節(jié)和高溫過程
規(guī)格
| ● 基本規(guī)格 | |
|---|---|
| 結(jié)構(gòu)： | 垂直向下開啟法 |
| 加工晶圓直徑： | 4.5,6.8英寸 |
| 處理的紙張數(shù)量： | 工藝晶圓：150片晶圓（6英寸或更小），100片晶圓（8英寸） |
| 磁帶存儲： | 最多8個磁帶（6英寸或更?。?，包括工藝盒和假盒 |
| 最多6盒磁帶（8英寸或更?。?，包括工藝盒和假盒 | |
| 優(yōu)點： | 濕式、干式、退火等。 |
| 燃氣使用情況： | N2、O2、H2等 |
| 硅片處理： | 固定為3張（標準），一次5張/1張（可選） |
| 供暖和制冷速率： | 加熱最高 10°C/min，冷卻最高3°C/分鐘 |
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