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宮崎科技（廈門）有限公司
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DF1600系列OHKURA/大倉解調(diào)器立式熱處理爐控制器
| 參考價: | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- DF1600系列 產(chǎn)品型號
- OHKURA/大倉 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：21更新時間：2026-06-23 08:10:36
馮女士
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產(chǎn)品簡介
| 應用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,制藥/生物制藥,汽車及零部件,綜合 |
|---|
產(chǎn)品介紹
OHKURA/大倉解調(diào)器立式熱處理爐控制器DF1600系列
OHKURA/大倉解調(diào)器立式熱處理爐控制器DF1600系列
特色
■ 高速溫度調(diào)節(jié)（FTP兼容）
采用垂直電阻加熱方法的獨特加熱器實現(xiàn)快速升溫和高溫，單臺處理快速溫度變化和常規(guī)處理。
■ 我們獨特的晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng) 通過采用
專有晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，我們實現(xiàn)了高度可靠的驅(qū)動元件。
■ 鋸齒轉(zhuǎn)換機制
船側(cè)溝槽槳距可轉(zhuǎn)換為晶圓轉(zhuǎn)移所需的任意鋸距。 （設定范圍：4.76~9.52毫米）晶圓傳輸通過盒帶對盒進行。
■ 注重
生產(chǎn)力和操作性的設備：控制單元采用帶觸摸面板的TFT面板，實現(xiàn)了較好的生產(chǎn)力和操作性。
■ 可
進行低溫晶圓進入?？蛇M行低溫晶圓進入。 它顯著減少了大氣膨脹的影響。
■ 安全簡便的反應管安裝與拆卸 使用
自動電梯，您可以更安全、更輕松地安裝和拆卸反應管。
■ 獨特的溫控系統(tǒng)
：加熱器和溫控系統(tǒng)采用獨特方法，顯著提升了溫度恢復特性。
■ 可維護性：設計時考慮了可維護性和可操作性，即使
多單元同時部署也不會受到影響。
規(guī)格
| ● 基本規(guī)格 | |
|---|---|
| 結(jié)構(gòu) | 垂直向下開啟法 |
| 加工晶圓直徑 | φ100mm~φ200mm |
| 加工方法 | 批量處理 ：50張/批量處理 |
| 磁帶存儲 | 最多9盒磁帶，包括進程盒、顯示器盒和假盒 |
| 流程 | 濕式、干式、退火、烘烤等 |
| 燃氣使用量 | N2、O2、H2等 |
| 硅片處理 | 5張紙/1張轉(zhuǎn)頁 |
| 溫度升降速率 | 加熱最高100°C /min，冷卻最高50°C/min |
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