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VTR-060M/ERHULVAC/日本愛發(fā)科小型真空沉積裝置
| 參考價: | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- VTR-060M/ERH 產(chǎn)品型號
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：33更新時間：2026-06-22 11:54:49
馮女士
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產(chǎn)品簡介
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件,綜合 |
|---|
非常適合基礎(chǔ)研發(fā)實驗，采用清潔排氣。
產(chǎn)品介紹
ULVAC/日本愛發(fā)科小型真空沉積裝置，型號：VTR-060M/ERH
ULVAC/日本愛發(fā)科小型真空沉積裝置，型號：VTR-060M/ERH
薄膜形成裝置是一種在硅晶圓等基板上形成薄膜的裝置。
Albac 的緊湊型實驗室薄膜沉積設(shè)備提供高精度薄膜成型技術(shù)，非常適合研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)。 其緊湊的設(shè)計使得即使在有限空間內(nèi)也能高效使用。
氣相沉積是一種將金屬或氧化物等物質(zhì)汽化并沉積在基板表面以形成薄膜的技術(shù)。
在氣相沉積過程中，目標材料首先在真空腔室內(nèi)通過電阻加熱、電子束加熱或激光加熱等方法進行加熱和蒸發(fā)。蒸汽通過真空向基板移動，在真空環(huán)境中擴散最小化，然后到達基板表面，冷凝形成具有均勻且高質(zhì)量特性的薄膜。
規(guī)格
| 模型 | VTR-060M/ERH | |
| 真空性能 | 到達壓力 | 10-4平臺（真空層內(nèi)無負載清洗）： 1.5×10-3PA（可選規(guī)范） |
| 排氣時間 | 4.0×10-3Pa/20分鐘（真空室內(nèi)無負載清潔） | |
| 真空室 | 真空室 | 圓柱形玻璃腔體（Φ236mm×H250mm） |
| 底板 | 7個端口（底部） | |
| 棋盤尺寸與最大尺寸 | □ 25毫米· □50毫米（最大） | |
| 電源系統(tǒng) | 蒸汽發(fā)生器配置 | 1點 |
| 蒸發(fā)動力源與數(shù)量 | SEREM/PSE-150C - 一組 0~10V 80A（最大功率） | |
| 排氣系統(tǒng) | 主泵 | 渦輪分子泵（風(fēng)冷）60升/秒 |
| 輔助泵 | 油轉(zhuǎn)真空泵 20升/分鐘 | |
| 油霧陷阱 | OMT-050A | |
| 操作系統(tǒng) | 主閥 | 選項（蝶閥） |
| 輔助閥 | 可選（三通閥） | |
| 自動泄漏閥 | 選件（電磁閥） | |
| 真空室通風(fēng)閥 | 選項（泄漏口） | |
| 運營 | 手動擋 | |
| 控制系統(tǒng) | 真空計 | Options（ISG1） |
| 膠片厚度計 | 選項（CRTM-6000G） | |
| 背景設(shè)定 | 最大尺寸主體 | 428毫米（寬）×438毫米（深）×713毫米（高） |
| 電源 | 480毫米（寬）×435.3毫米（深）×149毫米（高） | |
| 質(zhì)量：主體 | 50公斤 | |
| 電源 | 24公斤 | |
實用性
| 模型 | VTR-060M/ERH | |
| 所需時間 | 主體 | 100伏單相50/60Hz 0.6kVA |
| 電源 | 100V 單相 50/60Hz 0.8kVA | |
| 競爭 | 主單元：1Φ 100V | 帶插頭的乙烯基Captire線纜4米 |
| 電源：1Φ 200V | 帶插頭的乙烯基Captire線纜4米 | |
* 請準備兩個地面電源插座
尺寸圖
VTR-060M/ERH
蒸發(fā)動力源 SEREM
真空室內(nèi)部結(jié)構(gòu)
基本結(jié)構(gòu)
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