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宮崎科技（廈門）有限公司
中級(jí)會(huì)員·2年
VPC-1100ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科小型真空沉積裝置
| 參考價(jià): | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- VPC-1100 產(chǎn)品型號(hào)
- ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：29更新時(shí)間：2026-06-22 11:53:03
馮女士
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件,綜合 |
|---|
產(chǎn)品介紹
ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科小型真空沉積裝置，型號(hào)：VPC-1100
ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科小型真空沉積裝置，型號(hào)：VPC-1100
薄膜形成裝置是一種在硅晶圓等基板上形成薄膜的裝置。
Albac 的緊湊型實(shí)驗(yàn)室薄膜沉積設(shè)備提供高精度薄膜成型技術(shù)，非常適合研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)。 其緊湊的設(shè)計(jì)使得即使在有限空間內(nèi)也能高效使用。
氣相沉積是一種將金屬或氧化物等物質(zhì)汽化并沉積在基板表面以形成薄膜的技術(shù)。
在氣相沉積過(guò)程中，目標(biāo)材料首先在真空腔室內(nèi)通過(guò)電阻加熱、電子束加熱或激光加熱等方法進(jìn)行加熱和蒸發(fā)。蒸汽通過(guò)真空向基板移動(dòng)，在真空環(huán)境中擴(kuò)散最小化，然后到達(dá)基板表面，冷凝形成具有均勻且高質(zhì)量特性的薄膜。
特色
玻璃貝爾罐讓內(nèi)部易于查看，且操作性較好。
可以在不停止主泵的情況下打開真空罐。
通過(guò)添加蒸發(fā)電源和電極，可以實(shí)現(xiàn)同時(shí)和多層沉積。
切換到電子管規(guī)范后，可以形成高熔點(diǎn)材料的薄膜。
這是一種帶腳輪的氣相沉積裝置，易于移動(dòng)。
配備理賠員以確保安裝安全。
規(guī)格
| 模型 | VPC-1100 | |
| 真空性能 | 到達(dá)壓力 | 4.0×10-4Pa 1.3×10-4Pa（使用液氮時(shí)） |
| 排氣時(shí)間 | 4.0×10-3Pa/10分10秒 -4Pa單位 / 10分鐘（使用液氮時(shí)） | |
| 真空室 | 真空室 | 玻璃貝爾賈爾（內(nèi)徑Φ390mm×高度350mm） |
| 輸入色彩 | 20個(gè)接口（側(cè)面14個(gè)，底部6個(gè)） | |
| 推薦及最大電路板尺寸※1 | □50毫米· □220毫米（最大） | |
| 電源系統(tǒng) | 蒸汽發(fā)生器配置 | 三點(diǎn)式 |
| 蒸發(fā)動(dòng)力源與數(shù)量 | SEREM PSE-150C - 1 型 0~10V 150A（最大型） | |
| 排氣系統(tǒng) | 主泵※2 | 油擴(kuò)散泵（水冷）1100升/秒 |
| 液氮陷阱 | 存在 | |
| 輔助泵 | 油轉(zhuǎn)真空泵 200升/分鐘，2臺(tái) | |
| 油霧陷阱 | 選項(xiàng) | |
| 操作系統(tǒng) | 主閥 | 蝶閥 |
| 輔助閥 | 三通閥 | |
| 自動(dòng)泄漏閥 | 選項(xiàng) | |
| 運(yùn)營(yíng) | 手動(dòng)擋 | |
| 控制系統(tǒng) | 皮拉尼真空計(jì) | GP-1G |
| 電離真空計(jì) | 選項(xiàng) | |
| 背景設(shè)定 | 最大尺寸主體 | 1235毫米（寬）×836毫米（深）×2155毫米（高） |
| 電源 | 設(shè)備主單元存儲(chǔ) | |
| 質(zhì)量：主體 | 313公斤 | |
| 電源 | 設(shè)備主單元存儲(chǔ) | |
*1：最大基底尺寸是指不考慮膠片厚度分布時(shí)的值。
*2：安排為渦輪分子泵（TMP）規(guī)格。
實(shí)用性
| 類型 | VPC-1100 | |
| 所需時(shí)間 | 主體 | 200V 三相 50/60Hz 5.0kVA |
| 電源 | 100V 單相 50/60Hz 1.0kVA | |
| 地面終端 | D型（接地電阻值100Ω或以下） | |
| 競(jìng)爭(zhēng) | 主機(jī)：3Φ 200V | 乙烯基Captire電纜（R3.5-4帶壓接端子）4米 |
| 電源：1Φ 100V | 帶插頭的乙烯基Captire線纜4米 | |
| 所需水量 | 1.5升/分鐘（水溫：20~25°C，水壓：200kPa（表壓）） | |
| 競(jìng)賽（套筒） | Rp1/4（帶可觸接頭） | |
| 推薦軟管※ | Tetron刀片軟管（內(nèi)徑9毫米×外徑15毫米） | |
* 請(qǐng)自行準(zhǔn)備冷卻水管。
尺寸圖
VPC-1100
蒸發(fā)動(dòng)力源 SEREM
真空室內(nèi)部結(jié)構(gòu)
基本結(jié)構(gòu)
* 我們根據(jù)研發(fā)目的進(jìn)行定制。
| [1] | 接球盤 |
| [2] | 濾波器 |
| [3] | 服務(wù)端口（L） |
| [4] | 服務(wù)端口（S） |
| [5] | Gaugeport（規(guī)范端口） |
| [6] | 赫爾墨斯港 |
| [7] | 快門 |
| [8] | 電極共用 |
| [9] | 電極1 |
| [10] | 電極2 |
| [11] | 電極3 |
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