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宮崎科技（廈門）有限公司
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EV-M502N功耗低干式真空泵
| 參考價: | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- EV-M502N 產(chǎn)品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：8更新時間：2026-06-15 11:01:49
馮女士
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品類型 | 無油泵 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應用領域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
該干式真空泵適用于中等工藝，配備Ebara獨特的節(jié)能技術，采用優(yōu)化自動化工廠制造的模塊設計，實現(xiàn)進一步的小型化和節(jié)能。
憑借廣泛的溫度控制能力，它擴展了適用的工藝。同一模型可以涵蓋多個過程;因此，備用機器庫存可以優(yōu)化，維護和培訓可以減少，流程未來也能靈活擴展。此外，通過對每個工藝進行溫控，工藝電阻也得以提升
產(chǎn)品介紹
EBARA在干式真空泵方面的優(yōu)勢
節(jié)能且緊湊的設計。令人安心的全球支持和豐富的產(chǎn)品線
Ebara干式真空泵以節(jié)能和小巧著稱，廣泛應用于多個領域。獨特優(yōu)化的轉子設計提升了壓縮效率，實現(xiàn)了低功耗。由于其緊湊輕便的設計，能夠在有限空間內(nèi)安裝，且易于搬運。我們已在全球出貨超過20萬臺*，活躍于多個領域，主要集中在半導體行業(yè)，對性能和可靠性的要求非常嚴格。
此外，我們在全球擁有50多個維修點，提供可靠的全球支持。您可以選擇我們豐富產(chǎn)品線中最合適的車型，從行業(yè)最高標準的緊湊輕量車型，到氫氣排氣車型，以及兼容產(chǎn)生反應性副產(chǎn)品的高負載兼容車型。
特色與優(yōu)勢
該干式真空泵適用于中等工藝，配備Ebara獨特的節(jié)能技術，采用優(yōu)化自動化工廠制造的模塊設計，實現(xiàn)進一步的小型化和節(jié)能。
憑借廣泛的溫度控制能力，它擴展了適用的工藝。同一模型可以涵蓋多個過程;因此，備用機器庫存可以優(yōu)化，維護和培訓可以減少，流程未來也能靈活擴展。此外，通過對每個工藝進行溫控，工藝電阻也得以提升，并通過延長零件更換周期來降低TCoO。
適用的應用包括各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延等。
日本EBARA/荏原功耗低干式真空泵
日本EBARA/荏原功耗低干式真空泵
EV-M 型號
干式真空泵，功耗低，適合高負載應用的性能
高負載應用
高溫運行控制
低功耗
標準采用耐腐蝕材料
增強耐腐蝕選項
無論頻率如何（50/60 Hz）泵送性能相同
無油
可獲得CE認證/半級S2/NRTL認證
特色與優(yōu)勢
憑借EBARA獨特的耐熱技術，Model EV-M系列專為高負載應用設計，在半導體、液晶和太陽能電池制造過程中產(chǎn)生大量反應副產(chǎn)物。憑借的功耗性能，Model EV-M系列在抗高負載應用與能效間取得了平衡。標準采用堅固的防腐蝕材料。還有一款大容量型號，泵送速率為110,000升/分鐘。豐富的產(chǎn)品線滿足各種高負載應用，以匹配工藝條件
規(guī)格
類型 單位 EV-M20N EV-M102N EV-M202N EV-M302N EV-M502N EV-M505SF EV-M802N EV-M805SF EV-M1205SF 冷卻水 流量 L/min 3~8 3~8 3.5~8 4~8 5~8 5~8 5~8 5~8 5~8 溫度 °C 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 電源 功率容量 kVA 3.3 5.4 6 6.8 7.1 15.7 8.3 19.4 14.2 抽水速度 L/min 1800 10000 20000 30000 50000 50000 80000 80000 110000 壓力 5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 連接 入海口 NW40 ISO100 ISO100 ISO100 ISO160 ISO160 ISO200 ISO200 ISO200 出口 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 極限壓力下的近似功率 千瓦 1.2 1.8 1.9 2.3 2.1 3.9 2.8 4.6 5.3 N2 流量 Pa•m3/s 26~31 26~31 26~31 26~31 28~33 228 28~33 228 34~35 電源相位/電壓/頻率。 200V型號 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz400V型號 三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲- 三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲三相/380-400伏/50赫茲
三相/380-440伏/60赫茲重量 KG 170 320 360 400 500 580 740 820 870
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