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宮崎科技（廈門）有限公司
中級(jí)會(huì)員·2年
FDS系列低消耗干式真空泵干式廢氣減排系統(tǒng)
| 參考價(jià): | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- FDS系列 產(chǎn)品型號(hào)
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：18更新時(shí)間：2026-06-15 17:33:25
馮女士
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品類型 | 無(wú)油泵 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
EBARA（荏原）干式真空泵是日本荏原制作所的核心產(chǎn)品，以無(wú)油潔凈、高耐腐蝕、節(jié)能低噪著稱，廣泛用于半導(dǎo)體、光伏、化工等高要求工況。
產(chǎn)品介紹
日本EBARA/荏原低消耗干式真空泵干式廢氣減排系統(tǒng)
無(wú)油、干凈的真空
可以從大氣壓到高真空無(wú)需定期維護(hù)，如加水或更換機(jī)油
節(jié)能且緊湊的設(shè)計(jì)。令人安心的*支持和豐富的產(chǎn)品陣容
Ebara干式真空泵以節(jié)能和小巧著稱，廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。獨(dú)特優(yōu)化的旋翼設(shè)計(jì)提高了壓縮效率，實(shí)現(xiàn)了低功耗。由于其緊湊輕便的設(shè)計(jì)，能夠安裝在有限的空間內(nèi)，且易于搬遷。我們已向*出貨超過(guò)20萬(wàn)臺(tái)*，活躍于多個(gè)領(lǐng)域，主要集中在半導(dǎo)體行業(yè)，對(duì)性能和可靠性的要求非常嚴(yán)格。
干式真空泵是一種不使用油或液體密封的非接觸式真空泵。它們實(shí)現(xiàn)了干凈的真空，沒有水和油的回流或擴(kuò)散。此外，無(wú)需定期維護(hù)，如加水或更換水或機(jī)油，操作非常簡(jiǎn)單。它是半導(dǎo)體制造工藝和FPD/LED/太陽(yáng)能電池制造過(guò)程中的泵，這些工藝強(qiáng)調(diào)清潔性。近年來(lái)，它們的應(yīng)用范圍擴(kuò)大，因?yàn)樗軌蜉p松、干凈地從質(zhì)譜儀和電子顯微鏡等分析儀中提取氣體。此外，由于清潔的真空和便捷的維護(hù)，它們也被應(yīng)用于真空干燥工藝和薄膜沉積工藝等多種領(lǐng)域。
日本EBARA/荏原低消耗干式真空泵干式廢氣減排系統(tǒng)
FDS系列
干式排氣排放系統(tǒng)，高效且安全地處理PFC氣體，無(wú)需水洗
式排氣減排系統(tǒng)
低功耗
高效排除PFC氣體
氟串氣的凝固
不需要用水刷
無(wú)需燃料
特色與優(yōu)勢(shì)
FDS模型是一種干式廢氣減排系統(tǒng)，能夠高效且安全地處理PFC氣體，無(wú)需水洗。能夠高效處理至少99.9%的PFC氣體，并且氟系列氣體分解后能干固，因此不會(huì)產(chǎn)生廢水，也無(wú)需處理有毒廢水。雙缸型在最大氣體進(jìn)氣速率250升/分鐘（250升/分鐘雙缸型）下，PFC去除效率可達(dá)99%或更高，且由于反應(yīng)器容器串流設(shè)計(jì)，系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)間大幅提升;單缸型則便于更換現(xiàn)有干式廢氣減排系統(tǒng)。非常適合沒有污水處理設(shè)備或燃料管線的研究實(shí)驗(yàn)室。
規(guī)格
| 類型 | 單位 | FDS100S | FDS250 | |
| 減排方法 | 干的 | 干的 | ||
| 反應(yīng)堆 | 1 | 2 | ||
| 反應(yīng)堆生命檢測(cè)器 | 標(biāo)準(zhǔn)：電感傳感器 選項(xiàng)：PFC探測(cè)器 | 標(biāo)準(zhǔn)：PFC探測(cè)器 | ||
| 最大流入氣體體積 | L/min | 100升/分鐘 | 250升/分鐘 | |
| 尺寸 | 寬 x 深 x 高 毫米 | 600×600×2,000 | 1,520×1,000×2,250 | |
| 特工生活 | L/本 | CF4：3000 | CF4：10,000 | |
| 氣體（例如） | CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3等。 | F4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3等等。 | ||
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