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宮崎科技（廈門）有限公司
中級(jí)會(huì)員·2年
TND系列低消耗干式真空泵燃燒型排氣減排系統(tǒng)
| 參考價(jià): | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- TND系列 產(chǎn)品型號(hào)
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：13更新時(shí)間：2026-06-15 17:20:17
馮女士
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品類型 | 無(wú)油泵 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
EBARA（荏原）干式真空泵是日本荏原制作所的核心產(chǎn)品，以無(wú)油潔凈、高耐腐蝕、節(jié)能低噪著稱，廣泛用于半導(dǎo)體、光伏、化工等高要求工況。
產(chǎn)品介紹
日本EBARA/荏原低消耗干式真空泵燃燒型排氣減排系統(tǒng)
無(wú)油、干凈的真空
可以從大氣壓到高真空無(wú)需定期維護(hù)，如加水或更換機(jī)油
節(jié)能且緊湊的設(shè)計(jì)。令人安心的全球支持和豐富的產(chǎn)品陣容
Ebara干式真空泵以節(jié)能和小巧著稱，廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。獨(dú)特優(yōu)化的旋翼設(shè)計(jì)提高了壓縮效率，實(shí)現(xiàn)了低功耗。由于其緊湊輕便的設(shè)計(jì)，能夠安裝在有限的空間內(nèi)，且易于搬遷。我們已向全球出貨超過(guò)20萬(wàn)臺(tái)*，活躍于多個(gè)領(lǐng)域，主要集中在半導(dǎo)體行業(yè)，對(duì)性能和可靠性的要求非常嚴(yán)格。
干式真空泵是一種不使用油或液體密封的非接觸式真空泵。它們實(shí)現(xiàn)了干凈的真空，沒(méi)有水和油的回流或擴(kuò)散。此外，無(wú)需定期維護(hù)，如加水或更換水或機(jī)油，操作非常簡(jiǎn)單。它是半導(dǎo)體制造工藝和FPD/LED/太陽(yáng)能電池制造過(guò)程中的泵，這些工藝強(qiáng)調(diào)清潔性。近年來(lái)，它們的應(yīng)用范圍擴(kuò)大，因?yàn)樗軌蜉p松、干凈地從質(zhì)譜儀和電子顯微鏡等分析儀中提取氣體。此外，由于清潔的真空和便捷的維護(hù)，它們也被應(yīng)用于真空干燥工藝和薄膜沉積工藝等多種領(lǐng)域。
日本EBARA/荏原低消耗干式真空泵燃燒型排氣減排系統(tǒng)
TND 系列
燃燒型排氣減排系統(tǒng)，氮氧化物排放低，反應(yīng)副產(chǎn)物充足，以降低維護(hù)成本。
燃燒型排氣減排系統(tǒng)
低氮氧化物和低一氧化碳排放
多種氣體類型的批量處理
高效消滅前層葉
副產(chǎn)物去除措施/粉末狀副產(chǎn)物的自動(dòng)去除
濕-燃燒-濕式模型可選
長(zhǎng)時(shí)間維護(hù)間隔
低運(yùn)行成本
特色與優(yōu)勢(shì)
TND系列是一種燃燒型排氣減排系統(tǒng)，采用獨(dú)特的燃燒系統(tǒng)以實(shí)現(xiàn)低氮氧化物和低一氧化碳排放。多種腐蝕和副產(chǎn)品對(duì)策實(shí)現(xiàn)了比傳統(tǒng)產(chǎn)品的三倍長(zhǎng)維護(hù)周期。低公用事業(yè)消耗也帶來(lái)了較低的運(yùn)行成本。該系列包括 TND-Single（燃燒+濕式）和 TND-Single Plus（濕式+燃燒+濕式）。該系列即使在高副產(chǎn)物產(chǎn)生的工藝中，也能實(shí)現(xiàn)低運(yùn)行成本和高效的消融
規(guī)格
Type Unit TND-Single A1-A4/ TND-Single P1~P4 TND-Single Plus-A1~A4/P1~P4 Abatement method burn+ wet wet + burn + wet Max. inflow gas volume L/min 200(per port）
400(per burner）200(per port）
400(per burner）Fuel City gas or propane gas City gas or propane gas Dimensions W x D x H mm 1,200 x 650 x 1,980 1,200 x 650 x 1,980 Gases (e.g.) Process (depo) gases
SiH4, PH3, GeH4, AsH3, NH3, SiH2Cl2, B2H6, H2, PH3, Si3H8, etc.
Cleaning gases - all types
NF3, ClF3, HF, F2, HCl, COF2, etc.
Etching gases – all types
HBr, Cl2, SiCl4, BCl3, CO, C5F8, C4F6, etc.Process (depo) gases
WF6, TiCl4, SiH4, PH3, GeH4, NH3, SiH2Cl2, TEOS, B2H6, H2, etc.
Cleaning gases - all types
NF3, ClF3, HF, F2, HCl, COF2, etc.
Etching gases – all types
HBr, Cl2, SiCl4, BCl3, CO, C5F8, C4F6, etc.
PFCs
CF4, C2F6, C3F8, CHF3, SF6, etc.Standard equipment Washing mechanism for powder removal
Burner scraper for powder removalPowder filtering mechanism
Burner scraper for powder removalOptions City water/drainage consumption reduction unit
Fan scrubber for reduction of powder emissionsCity water/drainage consumption reduction unit
Fan scrubber for reduction of powder emissions
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