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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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EBARA 日本荏原 EV-M 系列 重載耐腐多級羅茨干式真空泵（原裝日本進(jìn)口?重制程旗艦款）
EV-M正面實(shí)拍
一、產(chǎn)品定位概述
EV-M 是荏原全系列最高負(fù)載、強(qiáng)腐蝕專用水冷干式羅茨真空泵，對標(biāo)半導(dǎo)體重腐蝕蝕刻、LPCVD/HDP-CVD/MOCVD/ALD等高副產(chǎn)物、含鹵素酸性氣體嚴(yán)苛工況，區(qū)別：
EV-S：輕載風(fēng)冷、潔凈 / 微量腐蝕
EV-X：中載螺桿、通用蝕刻 CVD
EV-M：重載水冷、強(qiáng)腐蝕 + 大量粉塵副產(chǎn)物制程
全機(jī)型標(biāo)配水冷 + 內(nèi)置分區(qū)伴熱溫控 + 標(biāo)準(zhǔn)防腐材質(zhì)，全系列無油干式，50/60Hz 頻率下抽速恒定，取得 SEMI-S2、CE、NRTL 半導(dǎo)體安全認(rèn)證，日本原廠整機(jī)進(jìn)口
二、全系列主流型號參數(shù)（N = 標(biāo)準(zhǔn)防腐款、SF = 強(qiáng)防腐特氟龍款）
| 型號 | 標(biāo)稱抽速 (L/min) | 極限真空 (Pa) | 極限功率 (kW) | 冷卻 | 進(jìn)水流量 (L/min) | 進(jìn)氣法蘭 | 整機(jī)重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| EV-M20N | 108~130 | ≤5.0 | 1.2 | 水冷 | 3~5 | KF40 | 55 |
| EV-M102N | 10000 | ≤0.5 | 1.8 | 水冷 | 3~8 | ISO80 | 320 |
| EV-M202N | 20000 | ≤0.5 | 1.9 | 水冷 | 3.5~8 | ISO100 | 360 |
| EV-M302N | 30000 | ≤0.5 | 2.3 | 水冷 | 4~8 | ISO100 | 400 |
| EV-M502N | 50000 | ≤0.5 | 2.1 | 水冷 | 5~8 | ISO100 | 500 |
| EV-M802N | 80000 | ≤0.5 | 2.8 | 水冷 | 5~8 | ISO160 | 740 |
| EV-M1202N | 110000 | ≤1.0 | 4.5 | 水冷 | 6~10 | ISO200 | 980 |
SF 系列：EV-M505SF/805SF，內(nèi)腔全 PFA 特氟龍涂層，強(qiáng)耐 HF、高濃度氯系腐蝕氣體。
三、五大核心產(chǎn)品優(yōu)勢
1、腔體伴熱控溫
泵腔分段獨(dú)立溫控伴熱，整機(jī)高溫恒溫運(yùn)行，杜絕 NH?Cl、SiO?、金屬鹽副產(chǎn)物冷凝粘附泵腔，大幅延長保養(yǎng)周期 3~5 倍，解決重制程堵泵通病。
2、出廠標(biāo)配防腐結(jié)構(gòu)
N 標(biāo)準(zhǔn)款：轉(zhuǎn)子 / 腔體鎳基合金 + Ni-P 化學(xué)鎳鍍層，原生耐受 HF、HCl、Cl?、NF?、硅烷等半導(dǎo)體腐蝕尾氣；
SF 高配款：內(nèi)腔全特氟龍 PFA 涂層，適配超高濃度強(qiáng)酸、強(qiáng)腐蝕工藝。
3、重載大流量 + 氫氣抽氣優(yōu)異
多級非接觸羅茨結(jié)構(gòu)，H?氫氣抽氣效率遠(yuǎn)優(yōu)于螺桿泵（EV-X），適配 MOCVD、半導(dǎo)體外延、ALD 富氫制程；大氣壓直抽，無需前級泵串聯(lián)。
4、智能變頻節(jié)能
搭載荏原自研怠速休眠控制，空載 / 待機(jī)自動降轉(zhuǎn)速降功耗，重負(fù)載滿功率輸出，同工況比傳統(tǒng)干泵省電 30%+；自帶故障自診斷、運(yùn)行數(shù)據(jù)存儲。
5、緊湊水冷小型化
整機(jī)集成水冷回路，無需外置獨(dú)立油箱，占地面積小于同抽速競品，適配 Subfab 緊湊機(jī)房布局，運(yùn)行噪音 65~72dB (A)。
四、后綴規(guī)格釋義
N（標(biāo)準(zhǔn)防腐）：市面主流現(xiàn)貨，內(nèi)置多路 N?氮?dú)夥创低ǖ溃瑯?biāo)配防粉塵吹掃，常規(guī)蝕刻 / PECVD ；
SF強(qiáng)防腐：全腔體 PFA 特氟龍內(nèi)襯、加強(qiáng)氮?dú)舛嗦反祾?，高濃度、?qiáng)堿腐蝕專用；
無后綴基礎(chǔ)款：普通鍍鎳，僅潔凈無腐蝕氣體，極少備貨。
五、可選配套配件
多路氮?dú)獯祾呖偝桑∟/SF 標(biāo)配）、氣鎮(zhèn)閥（高水汽工況）；
前置粉塵捕集罐、冷凝回收罐、排氣洗滌過濾器；
Modbus-RTU 通訊模塊（對接產(chǎn)線 PLC 遠(yuǎn)程聯(lián)控）、獨(dú)立外置水冷機(jī)組。
六、細(xì)分應(yīng)用行業(yè)（選型指引）
1、EV-M20N/M102N（小抽速）
小型 ALD 設(shè)備、RTP 快速熱處理、實(shí)驗(yàn)室 MOCVD、小腔體 LPCVD
2、EV-M202/302N（爆款主力）
量產(chǎn)線干法蝕刻、PECVD、SACVD、LED 芯片外延、光伏管式 PECVD
3、EV-M502/802/1202N（大流量重載）
HDP-CVD、大功率 MOCVD、第三代半導(dǎo)體 SiC/GaN 外延、面板量產(chǎn)線集中真空系統(tǒng)
七、EV-M / EV-S / EV-X 三系列簡明選型對照表
| 機(jī)型 | 泵結(jié)構(gòu) | 冷卻 | 適用工況 |
|---|---|---|---|
| EV-S | 多級羅茨 | 全風(fēng)冷 | 潔凈 / 微腐蝕、LoadLock、PVD 預(yù)抽（輕載） |
| EV-X | 干式螺桿 | 風(fēng)冷 / 水冷 | 常規(guī)蝕刻、CVD、灰化（中載通用） |
| EV-M | 重載羅茨 | 全水冷 | 強(qiáng)腐蝕、大量副產(chǎn)物、MOCVD/ALD（重載重腐蝕） |
八、采購渠道
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