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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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EBARA 日本荏原 EST 系列 高溫防腐螺桿干式真空泵（原裝日本進(jìn)口?重載強腐蝕螺桿旗艦）
一、產(chǎn)品定位概述
EST 為全水冷高溫螺桿式干泵，荏原重工級強腐蝕機型，對標(biāo)高粉塵、強酸鹵素、大量固態(tài)副產(chǎn)物的 CVD/ALD/ 蝕刻重制程；產(chǎn)品線區(qū)分：
EV-S：風(fēng)冷羅茨、潔凈輕載
EV-X：中小型螺桿、通用中腐蝕
EV-M：水冷羅茨、富氫重載
EST：水冷螺桿、高溫恒溫 + 抗堵 + 強防腐（粉塵 / 高濃度腐蝕）
全系列日本原廠整機，通過SEMI-S2、CE、NRTL半導(dǎo)體安全認(rèn)證，50/60Hz 電源抽速恒定不變荏原製作所。
二、全系列主流型號 + 核心參數(shù)
| 型號 | 抽速 (L/min) | 極限真空 (Pa) | 額定功率 (kW) | 冷卻 | 進(jìn)水流量 (L/min) | 進(jìn)氣法蘭 | 整機重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| EST10N | 1000 | ≤2.7 | 2.3 | 標(biāo)配水冷 | 5~8 | KF40/NW40 | 150 |
| EST25N | 2500 | ≤0.4 | 3.0 | 水冷 | 5~8 | KF40/NW40 | 180 |
| EST100WN | 10000 | ≤0.4 | 5.5 | 水冷 | 5~8 | DN50 | 330 |
| EST200WN | 20000 | ≤0.4 | 7.5 | 水冷 | 5~8 | ISO100 | 420 |
| EST300WN | 30000 | ≤0.4 | 11.0 | 水冷 | 5~8 | ISO100 | 510 |
| EST500WN | 50000 | ≤0.4 | 15.0 | 水冷 | 6~10 | ISO160 | 680 |
| EST800WN | 80000 | ≤0.5 | 22.0 | 水冷 | 6~10 | ISO200 | 920 |
后綴含義
N：標(biāo)準(zhǔn)防腐（Ni-P 鍍鎳腔體 + 多路氮氣吹掃），常規(guī) HCl、Cl?、硅烷制程；
WN：加強防腐（轉(zhuǎn)子鎳基合金 + 腔體 PFA 特氟龍內(nèi)襯），HF 、高濃度鹵素、大量粉塵副產(chǎn)物專用。
三、五大核心產(chǎn)品優(yōu)勢（EST 核心賣點）
1、整機分段伴熱恒溫系統(tǒng)
泵腔全段獨立電伴熱，整機高溫恒溫運行，從根源防止 NH?Cl、SiO?、金屬鹽粉塵冷凝結(jié)塊堵泵，保養(yǎng)周期是普通干泵 2~4 倍，解決 CVD/ALD 堵泵痛點。
2、螺桿轉(zhuǎn)子 + 超大粉塵容納腔體
同步精密非接觸螺桿結(jié)構(gòu)，腔體容積加大，可耐受大量固態(tài)副產(chǎn)物吸入，粉塵通過能力＞EV-M 羅茨泵，粉塵多的外延、LPCVD 。
3、全規(guī)格標(biāo)配防腐基材
N 款內(nèi)腔鍍化學(xué)鎳；WN 款轉(zhuǎn)子鎳基合金 + 全腔體 PFA 特氟龍涂層，耐受 HF、強堿、含氟強腐蝕尾氣荏原製作所。
4、智能變頻 + 整機 PLC 電控
機身 LCD 可編程控制面板，空載怠速降功率節(jié)能 35%+；內(nèi)置溫度、進(jìn)氣壓力、振動、過載全傳感器，故障預(yù)警、運行日志存儲；標(biāo)配 Modbus-RTU，可遠(yuǎn)程對接產(chǎn)線 PLC 聯(lián)控啟停。
5、全水冷穩(wěn)定溫控
全系強制水冷，進(jìn)水≤30℃即可，高溫工藝、長時間滿載連續(xù)運行不超溫，適配 7×24h 量產(chǎn)線工況，運行噪音≤65dB (A)。
四、結(jié)構(gòu)原理
無油干式雙螺桿容積壓縮，泵體內(nèi)無潤滑油，真空無油污染；轉(zhuǎn)子高精度間隙、非接觸運轉(zhuǎn)無磨損，大氣壓直抽中高真空，無需前級泵串聯(lián)；多路分布式氮氣反吹，防止腐蝕性氣體腐蝕轉(zhuǎn)子腔體。
五、選配配件
多路 N?氮氣吹掃總成（N/WN 標(biāo)配）、氣鎮(zhèn)閥（高含水蒸氣工藝）；
前置粉塵捕集罐、冷凝回收罐、排氣洗滌塔；
獨立外置冷水機組、遠(yuǎn)程控制柜、排氣消音器。
六、行業(yè)選型應(yīng)用
1、EST10N/EST25N（小機型）
實驗室 ALD、RTP 快速熱處理、小型 LPCVD、第三代半導(dǎo)體 SiC/GaN 研發(fā)設(shè)備
2、EST100/200WN（主力爆款）
量產(chǎn)線干法蝕刻、PECVD、SACVD、LED 芯片外延、光伏管式 PECVD
3、EST300/500/800WN（大抽速）
HDP-CVD、MOCVD 量產(chǎn)線、面板集中真空、大功率 ALD 量產(chǎn)線（高粉塵高腐蝕）EBARA
七、EST / EV-S / EV-X / EV-M 四系列選型速查表
| 機型 | 泵結(jié)構(gòu) | 冷卻方式 | 核心適用工況 |
|---|---|---|---|
| EV-S | 多級羅茨 | 全風(fēng)冷 | 潔凈 / 微腐蝕、LoadLock、PVD 預(yù)抽（輕載） |
| EV-X | 小型螺桿 | 風(fēng)冷 / 水冷 | 常規(guī)蝕刻、普通 CVD、少量副產(chǎn)物（中載） |
| EV-M | 重載羅茨 | 全水冷 | 富氫 MOCVD、LPCVD、氫氣多、粉塵中等（重載） |
| EST | 高溫螺桿 | 全水冷 | 高粉塵 + 高濃度強酸 / 鹵素、大量副產(chǎn)物 CVD/ALD（極重載強腐蝕） |
八、采購渠道
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