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SEN特殊光源株式會(huì)社，成立于1965年。是日本紫外線應(yīng)用的先驅(qū)者。專門生產(chǎn)UV設(shè)備光源燈具和燈管。SEN特殊光源股份公司在UV光清洗，UV光固化,UV水處理等領(lǐng)域從事研究開發(fā)和生產(chǎn)銷售。并通過了ISO14001認(rèn)證。
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SEN/日森真空表面清潔與改質(zhì)設(shè)備詳細(xì)信息
SEN/日森真空表面清潔與改質(zhì)設(shè)備PL1-1107A
SEN/日森真空表面清潔與改質(zhì)設(shè)備PL1-1107A
核心標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)
照射有效面積：300mm × 400mm（遠(yuǎn)大于 PM2001N-3 的 200×200mm）
真空腔體：極限真空 0~0.001 Torr，真空環(huán)境下 UV 輻照，無臭氧干擾、潔凈度更高
光源配置：7 支原裝 SUV110US 雙波段紫外燈，總燈管功率 665W
紫外波段：185nm（產(chǎn)臭氧 / 氧化）+254nm（斷有機(jī)分子鍵）雙波段同步輸出
UV 能量：距離 10mm 處輻照強(qiáng)度 15mW/cm2
整機(jī)尺寸：W660 × D1125 × H1250 mm
供電 / 功耗：AC200V 50Hz，整機(jī)總耗電 2800W
腔體結(jié)構(gòu)：前開門密封真空倉，內(nèi)置工件載臺(tái)，配套真空機(jī)組一體化機(jī)身帶腳輪
工作原理（真空優(yōu)勢(shì)）
常壓機(jī)型靠空氣臭氧氧化清洗；PL1-1107A 在高真空環(huán)境下照射：
真空無氧氣，185nm 直接打斷有機(jī)物化學(xué)鍵；
污染物直接氣化抽走，無臭氧殘留、無二次氧化污染；
適合超高潔凈度光學(xué)、半導(dǎo)體工件，避免臭氧腐蝕精密鍍膜層
核心功能
納米級(jí)干式除污
去除指紋、脫模劑、油脂、光刻膠殘膠、有機(jī)微粒、脫模殘留，無溶劑、無廢水。
表面活化改質(zhì)
大幅降低基材水接觸角，提升鍍膜、粘接、點(diǎn)膠、印刷附著力，杜絕脫膜、分層。
適用行業(yè) & 工件
光學(xué)：鏡頭、棱鏡、石英鏡片、光學(xué)鍍膜基板、紅外透鏡
半導(dǎo)體 / 顯示：晶圓、PCB、LCD 玻璃、ITO 導(dǎo)電玻璃、掩膜版
精密電子、醫(yī)療高分子、陶瓷、金屬鍍層前處理
光學(xué)元件量產(chǎn)產(chǎn)線大批量預(yù)處理
| 名稱 | 真空光學(xué)表面處理設(shè)備 |
|---|---|
| 類型 | PL1-1107A |
| 概述 | 該裝置在真空條件下輻射185納米和254納米。 |
| 目的 | ·清潔與修改鏡頭及棱鏡 ·各種基材材料的預(yù)處理 |
| 特色 | ·真空水平：0~0.001托 ·照射尺寸為300×400毫米，因此可用作生產(chǎn)機(jī)。 |
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