日本KOKUSAN 科庫(kù)森SPD-180自轉(zhuǎn)式 VS H840SA對(duì)向式遠(yuǎn)心干燥機(jī) 全解析

兩款均為半導(dǎo)體晶圓專用潔凈型甩干干燥機(jī)，依靠高速離心力 + ULPA 潔凈風(fēng) + 離子除靜電去除晶圓表面水漬水印，適配濕法清洗后制程；核心差異為旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)、轉(zhuǎn)速、產(chǎn)能、干燥均勻性、適用場(chǎng)景。

一、核心結(jié)構(gòu) & 工作原理本質(zhì)區(qū)別

1、SPD-180 自轉(zhuǎn)式（單筐同軸整體旋轉(zhuǎn)）

結(jié)構(gòu)：?jiǎn)蝹€(gè)載片筐整體同軸高速自轉(zhuǎn)，整籃晶圓同步繞中心主軸旋轉(zhuǎn) 

脫水邏輯：高轉(zhuǎn)速產(chǎn)生超大離心力，水分由晶圓邊緣向外徑向甩出；頂部 ULPA 垂直層流風(fēng)帶走水汽，離子發(fā)生器消除靜電吸附微塵 

旋轉(zhuǎn)特性：晶圓正反面、側(cè)邊離心受力，去水、薄水膜剝離能力強(qiáng) 

2、H840SA 對(duì)向式（雙搖籃反向?qū)D(zhuǎn)）

結(jié)構(gòu)：腔體內(nèi)部?jī)山M搖籃托架反向?qū)ΨQ旋轉(zhuǎn)（對(duì)向回轉(zhuǎn)抵消震動(dòng)），可裝 2 組載片筐 

脫水邏輯：中低轉(zhuǎn)速離心脫水，配合腔體環(huán)繞氣流排濕；搖籃自帶自動(dòng)抬升機(jī)構(gòu)，停機(jī)后托架自動(dòng)抬起方便取放料 

旋轉(zhuǎn)特性：轉(zhuǎn)速更低、整機(jī)震動(dòng)極小、運(yùn)行更平穩(wěn)，批量處理優(yōu)勢(shì)明顯

三、優(yōu)缺點(diǎn)深度對(duì)比

SPD-180 自轉(zhuǎn)式

優(yōu)勢(shì)

轉(zhuǎn)速高、離心力大，超薄水膜、深溝槽、通孔晶圓無(wú)水痕干燥效果頂尖，杜絕水印良率缺陷 

單籃密閉層流風(fēng)道，潔凈度更易管控，適配光刻前、蝕刻后高精度嚴(yán)苛制程 

工藝配方可編程，加減速曲線精細(xì)化，適配不同材質(zhì)晶圓（硅片、玻璃、碳化硅、陶瓷基片） 

整機(jī)占地縱深更小，適合緊湊型無(wú)塵工位布局 

劣勢(shì)

單次只能處理 1 籃，批量產(chǎn)能低于 H840SA 

高速旋轉(zhuǎn)震動(dòng)偏大，需加固安裝基座 

無(wú)自動(dòng)抬籃，頻繁上下料人工效率偏低 

H840SA 對(duì)向式

優(yōu)勢(shì)

雙筐同步加工，產(chǎn)能翻倍，適合大批量連續(xù)量產(chǎn)線 

對(duì)向回轉(zhuǎn)抵消震動(dòng)，低速運(yùn)行噪音、震動(dòng)極低，設(shè)備壽命更長(zhǎng) 

自動(dòng)搖籃升降，上下料便捷，適配自動(dòng)化產(chǎn)線接駁改造 

轉(zhuǎn)速溫和，超薄易碎晶圓、拋光片應(yīng)力更小，崩邊裂片風(fēng)險(xiǎn)低 

劣勢(shì)

離心力偏弱，高深孔、窄間隙結(jié)構(gòu)容易殘留水漬，高精密制程良率上限不如 SPD-180 

腔體氣流均勻性略弱，晶圓邊緣干燥一致性略差 

耗氣量、整機(jī)功耗略高于 SPD-180 

四、適用場(chǎng)景選型指南

選 SPD-180（自轉(zhuǎn)式）

小批量、高精密研發(fā) / 中試產(chǎn)線 

6/8 英寸硅片、碳化硅、光刻工藝前道關(guān)鍵干燥工序 

晶圓帶深槽、盲孔、通孔、微結(jié)構(gòu)，對(duì)無(wú)水痕要求

工位空間緊湊、追求干燥良率 

選 H840SA（對(duì)向式）

大批量量產(chǎn)流水線，追求單位小時(shí)產(chǎn)能 

薄型拋光晶圓、易碎光學(xué)玻璃片、陶瓷片，規(guī)避高速離心應(yīng)力破損 

需要頻繁上下料、對(duì)接半自動(dòng) / 全自動(dòng)機(jī)械手 

車間對(duì)設(shè)備震動(dòng)、噪音管控嚴(yán)格