作為日本老牌離心設(shè)備品牌，KOKUSAN科庫(kù)森旗下SPD-180自轉(zhuǎn)式、H840SA對(duì)向式是目前半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的兩款原裝遠(yuǎn)心干燥機(jī)。本文從工作原理、核心性能、適用產(chǎn)線、現(xiàn)場(chǎng)工況拆解，幫助產(chǎn)線快速精準(zhǔn)選型，避免設(shè)備錯(cuò)配、良率下降、產(chǎn)能不足等問(wèn)題。

名詞科普：遠(yuǎn)心干燥機(jī)=離心干燥機(jī)

日系圖紙、設(shè)備銘牌標(biāo)注的遠(yuǎn)心乾燥機(jī)，中文統(tǒng)一為離心干燥機(jī)，俗稱晶圓甩干機(jī)。

區(qū)別于加熱型螺旋干燥機(jī)，兩款設(shè)備均采用純物理離心脫水，無(wú)高溫烘烤、無(wú)熱風(fēng)二次污染，不損傷晶圓光刻膠、外延鍍膜與精密基板，適配半導(dǎo)體無(wú)塵車間Class100潔凈標(biāo)準(zhǔn)。

核心工作原理差異（本質(zhì)區(qū)別）

SPD-180 自轉(zhuǎn)式離心干燥機(jī)，這是一款作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)用晶圓干燥裝置擁有許多實(shí)績(jī)的設(shè)備。
通過(guò)離心力和ULPA過(guò)濾器的氣流，將工作部件保持在清潔的水切割干燥狀態(tài)。

采用單花籃一體式同向自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，整個(gè)料架跟隨主軸高速同向旋轉(zhuǎn)，離心力高度集中，剝離能力更強(qiáng)。搭配觸控可編程系統(tǒng)，可自定義加減速、運(yùn)行時(shí)長(zhǎng)，柔性適配不同材質(zhì)晶片脫水需求，適合精細(xì)化干燥場(chǎng)景。

H840SA 對(duì)向式離心干燥機(jī)，

這是一款作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)用晶圓干燥裝置擁有許多實(shí)績(jī)的設(shè)備。

通過(guò)離心力和氣流將工件清潔并進(jìn)行水切干燥。通過(guò)提升機(jī)構(gòu)，自動(dòng)提升提升架。

采用雙花籃左右反向?qū)D(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，兩側(cè)轉(zhuǎn)子產(chǎn)生的離心力相互抵消，從源頭抑制設(shè)備震動(dòng)。設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn)、無(wú)需加固地腳，搭配自動(dòng)升降搖籃，適配產(chǎn)線自動(dòng)化對(duì)接，主打7×24小時(shí)不間斷穩(wěn)定量產(chǎn)。