Trymax高吞吐等離子處理系統(tǒng)：NEO 2400四腔體200mm大批量晶圓設(shè)備

Trymax NEO 2400是荷蘭Trymax面向高密度量產(chǎn)線打造的Trymax高吞吐等離子處理系統(tǒng)，專為大批量MEMS陣列、射頻濾波器、晶圓級封裝產(chǎn)線設(shè)計(jì)，通過2/4并行工藝腔體架構(gòu)突破單腔設(shè)備產(chǎn)能瓶頸，實(shí)現(xiàn)不間斷光刻膠灰化、殘?jiān)鼊冸x、薄層干法刻蝕工序。當(dāng)下頭部8英寸廠區(qū)普遍存在產(chǎn)線吞吐不足、多工藝切換等待時間長的痛點(diǎn)，Trymax高吞吐等離子處理系統(tǒng)依托多腔體并行加工設(shè)計(jì)，單臺設(shè)備產(chǎn)能接近兩臺標(biāo)準(zhǔn)單腔設(shè)備，大幅壓縮廠房設(shè)備投入成本。

Trymax高吞吐等離子處理系統(tǒng)標(biāo)配4組SMIF密閉載臺，搭載帶X軌道四軸雙臂機(jī)械手，機(jī)械產(chǎn)能突破300wph，內(nèi)置晶圓冷卻工位與OCR自動對位識別系統(tǒng)，可同步執(zhí)行兩套不同的等離子工藝，無需停機(jī)切換制程。設(shè)備支持選配AGV、OHT天車全自動對接，適配無人工廠全自動化流轉(zhuǎn)，四類等離子源模塊自由組合，覆蓋輕度表面清洗至深度聚合物去除全工藝需求。

北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司，田永福。

一、Trymax品牌全系列主流型號匯總

Trymax NEO 200A、Trymax NEO 2000、Trymax NEO 2400、Trymax NEO 3000、Trymax NEO 3400、Trymax NEO 2000UV

二、Trymax NEO 2400關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)表

2.1 多腔體并行核心工藝技術(shù)

這款Trymax高吞吐等離子處理系統(tǒng)采用獨(dú)立隔離式工藝腔體，各腔體等離子功率、氣體流量、工藝時長獨(dú)立調(diào)控，產(chǎn)線可同時運(yùn)行高劑量注入去膠與氮化硅刻蝕兩種制程，互不干擾。機(jī)身采用緊湊型模塊化布局，四腔體整機(jī)占地面積小于市面同規(guī)格雙腔競品設(shè)備，對于的潔凈車間，空間利用率提升40%以上。整機(jī)數(shù)字化總線實(shí)時監(jiān)控每一片晶圓工藝數(shù)據(jù)，全流程可完整追溯，滿足半導(dǎo)體工廠品質(zhì)審核標(biāo)準(zhǔn)。

Trymax高吞吐等離子清洗機(jī)

2.2 大批量高吞吐適配生產(chǎn)場景

Trymax高吞吐等離子處理系統(tǒng)主要用于月產(chǎn)能5萬片以上8英寸功率半導(dǎo)體、射頻濾波器、MEMS傳感器產(chǎn)線，DRIE深刻蝕后通孔聚合物清洗、凸塊工藝前Descum去膠、碳化硅基板等離子活化等高頻工序均可穩(wěn)定承接。設(shè)備長期連續(xù)運(yùn)行故障率低，原廠標(biāo)準(zhǔn)化零部件全球供應(yīng)，維護(hù)停機(jī)時間大幅縮短，綜合擁有成本優(yōu)于同規(guī)格美系進(jìn)口設(shè)備。

三、大規(guī)模量產(chǎn)產(chǎn)線核心價(jià)值

• 四腔體并行加工，產(chǎn)能翻倍，有效減少產(chǎn)線設(shè)備采購數(shù)量；

• 多工藝同步運(yùn)行，消除制程切換等待，提升產(chǎn)線整體OEE；

• 內(nèi)置冷卻與對位模組，省去配套輔助設(shè)備，簡化產(chǎn)線布局；

• 兼容全自動天車、AGV對接，適配未來智慧工廠升級改造。

對于追求高吞吐、低占地、柔性化生產(chǎn)的8英寸大規(guī)模晶圓廠，Trymax NEO 2400 Trymax高吞吐等離子處理系統(tǒng)是量產(chǎn)解決方案。

Trymax NEO 2400高吞吐等離子處理系統(tǒng)、8英寸四腔體等離子去膠設(shè)備、大批量MEMS等離子清洗機(jī)、荷蘭Trymax量產(chǎn)等離子蝕刻設(shè)備

荷蘭Trymax

NEO 200A（入門單腔）

NEO 2000（標(biāo)準(zhǔn)量產(chǎn) 200mm）

NEO 2400（高產(chǎn)能 200mm）

NEO 3000 / NEO 3400（8/12 英寸橋接機(jī)型）

NEO 2000UV（專用 UV 機(jī)型）

Trymax高吞吐等離子清洗機(jī)