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電子束蒸發(fā)系統(tǒng)EB-4P也是電子束沉積系統(tǒng),有四個(gè)容量不同的袖珍坩堝
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ELS-F125是Elionix推出的世界上1st臺(tái)加速電壓達(dá)125KV的電子束曝光
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Electron Beam Lithography System(EBL)
納米光刻技術(shù)在微納電子器件制作中起著關(guān)鍵作用,而電子束光刻在納
公眾號(hào):chem17
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