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| ¥30000 |
| ≥100件 |
OTSUKA/日本大塚
經(jīng)銷(xiāo)商
OPTM-H3
8
四川成都市
2026/6/23 9:07:06
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 2萬(wàn)-5萬(wàn) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,食品/農(nóng)產(chǎn)品,電子/電池,電氣,綜合 |
利用顯微微分光膜厚計(jì)OPTM series的高精度、微小光點(diǎn)，在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測(cè)量等膜厚信息
特點(diǎn)
● 膜厚測(cè)量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）
● 膜厚值高重復(fù)精度
● 1點(diǎn)1秒以內(nèi)的高速測(cè)量
● 最小小點(diǎn)Φ3μm）中瞄準(zhǔn)模式
● 適合圖案晶片的膜厚映射
● 能夠取得圖案對(duì)準(zhǔn)用圖像
分體手持靈活測(cè)量
細(xì)長(zhǎng)測(cè)量探頭可伸入工裝、曲面、異形工件，車(chē)間現(xiàn)場(chǎng)、外協(xié)來(lái)料現(xiàn)場(chǎng)直接檢測(cè)，無(wú)需取樣帶回實(shí)驗(yàn)室。
近紅外適配厚膜體系
H3 長(zhǎng)波長(zhǎng)光路對(duì)厚光刻膠、臨時(shí)鍵合樹(shù)脂、碳化硅外延層測(cè)量穩(wěn)定，短波長(zhǎng) A1/A2 機(jī)型測(cè)厚上限不足。
無(wú)損非接觸
不劃傷薄膜、不污染濕膜，對(duì)比渦流 / 接觸式測(cè)厚：無(wú)需標(biāo)準(zhǔn)曲線、非金屬基材也可測(cè)絕對(duì)值。
小型輕量化主機(jī)
便攜一體機(jī)帶觸控屏幕，現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)顯示厚度數(shù)值與光譜，數(shù)據(jù)本地存儲(chǔ)導(dǎo)出 Excel 報(bào)告。
產(chǎn)線兼容集成
探頭可固定于機(jī)械手、自動(dòng)化載臺(tái)，對(duì)接 MES，實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)在線連續(xù)檢測(cè)。
| 項(xiàng)目 | OPTM-H3 參數(shù) |
|---|---|
| 分光波段 | 近紅外 NIR 900～1600nm |
| 膜厚測(cè)量范圍 | 16 nm ～ 92 μm（適配厚膠、樹(shù)脂、Si 基底厚層） |
| 最小測(cè)量光斑 | φ3 μm，微區(qū)圖案局部測(cè)量 |
| 單點(diǎn)測(cè)量速度 | ≤1 秒（自動(dòng)對(duì)焦 + 光譜解析完成） |
| 重復(fù)精度 | SiO?標(biāo)準(zhǔn)片 ≤±0.1nm |
| 測(cè)量方式 | 手持自由測(cè)量 / 機(jī)械固定集成產(chǎn)線 |
| 樣品適配 | 曲面、異形件、濕膜、晶圓、光學(xué)鍍膜 |
| 輸出數(shù)據(jù) | 膜厚、n/k 光學(xué)常數(shù)、多層膜分層厚度、光譜曲線 |
| 通訊 | USB、網(wǎng)口，支持自動(dòng)化設(shè)備聯(lián)動(dòng) |
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關(guān)聯(lián)品牌
大塚電子主要銷(xiāo)售用于光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查的裝置。其裝置用于在LED、OLED、汽車(chē)前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相關(guān)材料的光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查。以高速?高精度?高可靠性且有市場(chǎng)實(shí)際應(yīng)用的分光器MCPD系列為基礎(chǔ)，在中國(guó)的顯示器市場(chǎng)上有著20年以上銷(xiāo)售實(shí)例，為許多廠家在研究開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)部門(mén)所使用。并且在光源?照明相關(guān)方面，對(duì)國(guó)家級(jí)研究機(jī)構(gòu)、各個(gè)廠家的銷(xiāo)售量在逐步擴(kuò)大。
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移動(dòng)站：OTSUKA 大塚電子 手持分體近紅外分光膜厚計(jì)
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