藍(lán)景反射膜厚儀氘鹵組合全光譜 190-1100nm 寬譜光源
行業(yè)大量平價(jià)反射膜厚儀僅配備單一鹵素光源,光譜僅覆蓋 400-1100nm 可見光近紅外區(qū)間,缺失 190-400nm 深紫外波段;紫外波段對(duì) 20~100nm 超薄介質(zhì)膜、光刻膠、透明氧化層靈敏度,缺少紫外光會(huì)導(dǎo)致超薄膜干涉信號(hào)微弱、多層膜分層解析失效,僅能測(cè)量 50nm 以上單層厚膜,適配場(chǎng)景極度受限。藍(lán)景 LJ-FT50UV 機(jī)型搭載氘燈 + 鹵素雙光源組合,光譜完整覆蓋 190-1100nm 紫外 - 可見 - 近紅外全波段,寬光譜解析能力吊打單鹵素窄譜競(jìng)品。



氘燈負(fù)責(zé) 190-400nm 深紫外波段激發(fā),強(qiáng)化超薄透明薄膜干涉特征,解決 20nm 極限薄膜無(wú)法穩(wěn)定測(cè)量的行業(yè)痛點(diǎn);鹵素?zé)舾采w 400-1100nm 可見光與近紅外,適配微米級(jí)厚膜、多孔功能涂層、高吸收有機(jī)膜層;雙光源同步輸出連續(xù)平滑光譜,無(wú)波段斷層,多層復(fù)合膜(光刻膠 + BARC、多層光學(xué)濾光膜、梯度新能源涂層)可獨(dú)立分層解析每層厚度與光學(xué)常數(shù),無(wú)需分多次換設(shè)備測(cè)量。
對(duì)比僅鹵素光源的 LJ-FT50NIR 近紅外機(jī)型,UV 版氘鹵雙光源可覆蓋半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥等高精密超薄膜場(chǎng)景,一臺(tái)設(shè)備兼容 20nm~50μm 全量程單層、多層膜檢測(cè),無(wú)需分購(gòu)紫外、紅外兩套檢測(cè)設(shè)備,大幅削減實(shí)驗(yàn)室、產(chǎn)線儀器采購(gòu)預(yù)算。寬光譜硬件搭配自研多維度光譜擬合算法,對(duì)高散射、弱反射薄膜信號(hào)做補(bǔ)償優(yōu)化,雜散光抑制能力更強(qiáng),復(fù)雜膜系擬合準(zhǔn)確度顯著優(yōu)于窄譜單光源設(shè)備,覆蓋半導(dǎo)體、顯示、光學(xué)、醫(yī)療、新能源全行業(yè)薄膜檢測(cè)需求。
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