顯微分光膜厚儀OPTM——微小區(qū)域的非破壞性膜厚測量

在功能性薄膜的制造過程中，被測樣品常常具有復(fù)雜的三維形狀，傳統(tǒng)的平板監(jiān)測樣品無法代表實(shí)際工件的膜厚分布。

大塚電子的顯微分光膜厚儀OPTM系列采用了顯微反射分光干涉法，可在微小區(qū)域內(nèi)實(shí)現(xiàn)高精度膜厚和光學(xué)常數(shù)（折射率和消光系數(shù)）的解析。

OPTM可對(duì)各種薄膜、晶圓和光學(xué)材料上的單層或多層涂層膜進(jìn)行非破壞、非接觸的高速測量，測量時(shí)間僅1秒/點(diǎn)，即使是初次使用的操作者也能通過配備的直觀軟件輕松完成光學(xué)常數(shù)解析。

該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)最小3 μm的測量直徑，對(duì)具有三維形狀的材料也能通過自動(dòng)對(duì)焦功能進(jìn)行掃描測量，非破壞、非接觸地對(duì)各個(gè)部位的膜厚進(jìn)行精確測定。

OPTM的價(jià)值在于解決了三維形狀涂層測量的行業(yè)痛點(diǎn)。傳統(tǒng)的研磨式試驗(yàn)法或掃描電鏡破壞性檢查方法無法滿足實(shí)際生產(chǎn)中快速、無損檢測的需求。大塚電子憑借其獨(dú)特的顯微反射分光技術(shù)，對(duì)形狀各異的工作件上的DLC等硬質(zhì)涂層進(jìn)行無損測量的貢獻(xiàn)，獲得了第10屆巖木獎(jiǎng)優(yōu)秀獎(jiǎng)的認(rèn)可。該設(shè)備的測量對(duì)象涵蓋功能性薄膜、塑料、半導(dǎo)體、電池材料、光學(xué)材料、汽車零部件、顯示器用部件、醫(yī)用部件等廣泛領(lǐng)域。從三維曲面零件到微小光學(xué)元件，OPTM將膜厚測量的邊界拓展到了傳統(tǒng)方法難以企及的高度。