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KURT.J.LESKER
生產(chǎn)廠(chǎng)家
104
國(guó)外美國(guó)
2026/3/4 16:28:15
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
SPECTROS™ 150物理氣相沉積系統(tǒng)是基于SPECTROS平臺(tái)的下一代薄膜沉積系統(tǒng)。SPECTROS平臺(tái)在全球服役超過(guò)100臺(tái),是一款經(jīng)過(guò)驗(yàn)證、堅(jiān)固且多功能的設(shè)計(jì)。SPECTROS在原設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上取得了改進(jìn),提高了系統(tǒng)基壓和泵送速度。技術(shù)優(yōu)良的腔室設(shè)計(jì)、業(yè)內(nèi)優(yōu)秀軟件控制系統(tǒng)、具備優(yōu)良編程能力、實(shí)時(shí)配方線(xiàn)程作以及眾多優(yōu)化薄膜性能的功能,是這一創(chuàng)新的設(shè)計(jì)所帶來(lái)的主要優(yōu)勢(shì)。
SPECTROS™ 150物理氣相沉積系統(tǒng)兼容以下技術(shù):
1cc或10cc LTE源(除了熱源外,最多可支持10個(gè)源)
4英寸熱源(最多4個(gè)熱源,加上LTE源)
TORUS磁控管濺射源(最多八個(gè)2英寸或3英寸源)®
電子束蒸發(fā)源(4個(gè)口袋8cc,8個(gè)口袋12cc,6個(gè)口袋20cc)
上述技術(shù)的組合也可用
可根據(jù)要求提供定制配置
KJLC的軟件支持用戶(hù)友好的創(chuàng)建,并配備可靠且不間斷的處理模塊,無(wú)論計(jì)算機(jī)界面狀態(tài)如何都能完成流程。
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您訪(fǎng)問(wèn)的SPECTROS™ 150物理氣相沉積系統(tǒng)產(chǎn)品信息,由華兆科技(廣州)有限公司自行發(fā)布提供,產(chǎn)品價(jià)格為面議,如您想了解更多關(guān)于SPECTROS™ 150物理氣相沉積系統(tǒng)型號(hào)、參數(shù)、用途等信息,歡迎咨詢(xún)。
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