KOFLOC科賦樂(lè) 超音波流量計(jì)
KOFLOC科賦樂(lè) 超音波流量計(jì)
接液部分采用NewPFA,清潔型結(jié)構(gòu)
直線(xiàn)型流路,避免不必要的壓力損失,且易于維護(hù)
小型輕巧、設(shè)計(jì)精巧
集顯示器于一體,只需接通DC24V電源即可測(cè)定流量
可測(cè)定高粘度液體
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
熱式技術(shù)(氣體):
基于熱擴(kuò)散原理,直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量(無(wú)需溫壓補(bǔ)償)。
低流量靈敏度:可檢測(cè)0.1 sccm(如半導(dǎo)體工藝氣體控制)。
壓差式技術(shù)(液體):
通過(guò)層流元件產(chǎn)生壓差,線(xiàn)性輸出流量信號(hào)。
耐腐蝕設(shè)計(jì):接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能:
數(shù)字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。
自診斷報(bào)警(流量超限、傳感器異常)。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造
案例:晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制(RK-1200系列)。
要求:流量穩(wěn)定性±0.5%,響應(yīng)時(shí)間<1秒。
配置:鈦合金流道(耐Cl?腐蝕)+ 防爆認(rèn)證(Ex d IIC T6)。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例:硅烷(SiH?)氣體輸送(MFC-3000系列)。
挑戰(zhàn):硅烷易燃易爆,需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)。
方案:全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動(dòng)切斷功能。
化工流程
案例:腐蝕性液體(如鹽酸)定量添加(RK-2400系列)。
材質(zhì)選擇:哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 測(cè)定對(duì)象 | 水、純水(不包括氣泡) ※其他液體請(qǐng)咨詢(xún) |
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| 流體音速 | 1300m/s?1600m/s |
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| 流體溫度范圍 | 15?50℃ |
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| 測(cè)定范圍 | 0?5L/min) |
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| 測(cè)定精度 | 參考表1 |
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| 允許周?chē)鷾囟?/th> | 0?50℃ |
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| 接液部分材質(zhì) | New PFA |
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| 耐壓 | 0.5MPa (at23℃) |
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| 工藝連接件 | 6mm管端 |
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| 專(zhuān)用電纜長(zhǎng)度 | 3mm |
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| 電纜外皮 | PVC |
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| 結(jié)構(gòu) | 與IP64同等 |
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| 周?chē)鷾囟?/th> | 5~50℃(不會(huì)結(jié)露) |
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| 環(huán)境濕度 | 10~85%RH以下(不會(huì)結(jié)露) |
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| 安裝方向 | 垂直、水平、傾斜 |
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| 重量 | 200g(主機(jī)) |
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用戶(hù)評(píng)論
發(fā)布評(píng)論