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| ¥8120 |
| ≥1件 |
KOFLOC/科賦樂
經(jīng)銷商
8750MC
289
四川成都市
2025/5/21 9:41:32
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
| 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計(jì)
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計(jì)
支持大流量范圍
(以N2換算從F.S.10SCCM 到F.S.100SLM)
裝有顯示器，可靈活使用各種功能 瞬時(shí)/累計(jì)流量顯示、報(bào)警設(shè)定
標(biāo)配有RS485 通信功能，模擬輸入輸出0-5VDC
(可變更為4-20mA)
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴(kuò)散原理，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補(bǔ)償）。
低流量靈敏度：可檢測(cè)0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號(hào)。
耐腐蝕設(shè)計(jì)：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報(bào)警（流量超限、傳感器異常）。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時(shí)間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動(dòng)切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 型號(hào) | 8700MC/MM | 8750MC/MM |
|---|---|---|
| F.S.流量(N2換算) | 10SCCM～20SLM | 30SLM～100SLM |
| 傳感器 | 熱式繞線傳感器 | |
| 控制范圍 | 2-100%(F.S.) | 5-100%(F.S.) |
| 響應(yīng)性 | 2sec以內(nèi)(within±2%F.S. | 3sec以內(nèi)(within±2%F.S.) |
| 精度 | ±1.0%F.S. (25℃) | ±1.5%F.S. (25℃) |
| 精度保證溫度 | ±0.1%F.S./℃(15～35℃) | ±0.2%F.S./℃(15～35℃) |
| 重現(xiàn)性 | ±0.5%F.S. | |
工作壓差范圍 | F.S.<5SLM50～300kPa F.S<50SLM 150～300kPa | |
| F.S≥5SLM 100～300kPa | F.S. ≥50SLM 200～300kPa | |
| 入口最大壓力 | 500kPa(G)以下 | |
| 耐壓 | 1MPa(G) | |
| 外部泄漏率(氦氣) | 1×10-8Pa-m3/sec.or less(He) | |
| 使用溫度 | 5~45℃ | |
| 允許工作濕度 | 0～90%RH(不凝露) | |
| 接觸氣體部位的材質(zhì) | SUS316,316L,磁性不銹鋼(僅MFC),FKM | |
關(guān)聯(lián)品牌
OFLOC成立于1960年，總部位于日本京都，是一家歷史悠久的技術(shù)驅(qū)動(dòng)型企業(yè)。KOFLOC專注于流量計(jì)、流量控制器、質(zhì)量流量計(jì)等產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、醫(yī)療、環(huán)保、能源等多個(gè)行業(yè)，客戶遍布全球。KOFLOC的流量計(jì)和控制器以其高精度著稱，能夠滿足嚴(yán)苛的工業(yè)需求，還可根據(jù)客戶需求提供定制化解決方案，滿足特殊應(yīng)用場(chǎng)景。
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