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| ¥8650 |
| ≥1件 |
KOFLOC/科賦樂
經(jīng)銷商
3760
265
四川成都市
2025/5/21 9:35:51
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
| 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計(jì)
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計(jì)
MODEL 3760系列是基于MODEL 3660系列開發(fā)的緊湊型低成本質(zhì)量流量計(jì)。
它是作為大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)研發(fā)應(yīng)用的各種分析儀器和真空設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)模型而開發(fā)的。
配備流量傳感器，采用改進(jìn)的恒流溫差檢測(cè)方法，實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng)
我們不選擇緊湊的身體設(shè)置的地方
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴(kuò)散原理，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補(bǔ)償）。
低流量靈敏度：可檢測(cè)0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號(hào)。
耐腐蝕設(shè)計(jì)：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報(bào)警（流量超限、傳感器異常）。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時(shí)間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動(dòng)切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 模型 | 3760 | 3765 |
|---|---|---|
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 10SCCM~20SLM（可選） | 30SLM~100SLM（可選） |
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 響應(yīng)速度 | 在2秒內(nèi) | 在3秒內(nèi) |
| 準(zhǔn)確性 | ±1.0％FS（25°C） | ±1.5％FS（25°C） |
| 溫度系數(shù) | ±0.1％FS /°C（15~35°C） | ±0.2％FS /°C（15~35°C） |
| 再現(xiàn)性 | ±0.5％F.S.（20°C） | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | |
| 允許周圍溫度 | 5~45℃ | |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無結(jié)露） | |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L | |
| 密封材料FKM（選件CR或NBR） | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)） | |
| 流量輸出信號(hào) | 0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA, -15 VDC（±5％）100 mA | |
| 接頭 （體型） | 標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項(xiàng)1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 | 標(biāo)準(zhǔn)3 / 8F 900（9 / 16.18 UNF） 選項(xiàng)1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等 |
| 重量 | 約800g | 約1000g |
關(guān)聯(lián)品牌
OFLOC成立于1960年，總部位于日本京都，是一家歷史悠久的技術(shù)驅(qū)動(dòng)型企業(yè)。KOFLOC專注于流量計(jì)、流量控制器、質(zhì)量流量計(jì)等產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、醫(yī)療、環(huán)保、能源等多個(gè)行業(yè)，客戶遍布全球。KOFLOC的流量計(jì)和控制器以其高精度著稱，能夠滿足嚴(yán)苛的工業(yè)需求，還可根據(jù)客戶需求提供定制化解決方案，滿足特殊應(yīng)用場(chǎng)景。
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