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大阪真空OSAKAVACUUM 工業(yè)渦輪分子泵 全新

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目的

半導(dǎo)體制造

電子槍排氣，離子源排氣

FPD制造

表面處理、表面改性

制造各種電子元件

分析和測試設(shè)備

管材制造、光學(xué)元件制造

加速器、輻射設(shè)施和核聚變研究

熱處理

研究與開發(fā)

*排放腐蝕性氣體時(shí)，請選擇與化學(xué)品兼容的 TG-M 或 TG 系列。

控制器模型TC66

輸入電壓（ACV）100-230

輸入頻率（赫茲）50/60

輸入相位數(shù)單相

最大功率需求（VA）240

輸出頻率（赫茲）1150

質(zhì)量（千克）2.4

標(biāo)準(zhǔn)配件輸入接口：1個(gè)；

遠(yuǎn)程接口：1個(gè)；

使用說明書：1份

適用泵型號(hào)TG60F-20

TG-F系列柔性定位復(fù)合分子泵

采用油脂潤滑滾珠軸承使得這些泵結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕、成本低廉。它們還具有很高的抗沖擊性，因此適用于安裝在便攜式設(shè)備或設(shè)備的移動(dòng)部件上，該系列產(chǎn)品探索了渦輪分子泵的新可能性。產(chǎn)品系列流量范圍從 50 升/秒到 2400 升/秒。

渦輪分子泵（復(fù)合分子泵）的泵送原理

渦輪分子泵由多級(jí)動(dòng)葉片和靜葉片組合而成。葉片傾角和旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系如下圖所示。來自高真空側(cè)的氣體分子在進(jìn)出動(dòng)葉片時(shí)會(huì)朝著不同的方向運(yùn)動(dòng)。然而，葉片的傾角和旋轉(zhuǎn)方向會(huì)將它們引導(dǎo)至后級(jí)，同時(shí)引導(dǎo)它們更容易穿過靜葉片。從后級(jí)穿過靜葉片并向后運(yùn)動(dòng)的氣體分子，也會(huì)因與動(dòng)葉片接觸而被引導(dǎo)至后級(jí)。葉片的傾角使得氣體分子能夠輕松地從前級(jí)通過（排氣方向和回流方向的流量差較大），而氣體分子則難以從后級(jí)向后運(yùn)動(dòng)（排氣方向和回流方向的流量比較大）。在分子流區(qū)域，動(dòng)葉片和靜葉片共同完成渦輪分子泵的基本功能。

我們在動(dòng)葉片和靜葉片的組合結(jié)構(gòu)中增加了一個(gè)“螺紋槽”。氣體分子被吸引到圓柱形旋轉(zhuǎn)部件（轉(zhuǎn)子）的壁面，最終沿著固定部件（定子）上的螺紋槽被送至背壓側(cè)。這種螺紋槽的作用使得泵不僅可以在分子流區(qū)域進(jìn)行抽氣，還可以在中間流區(qū)域進(jìn)行抽氣，從而制造出一種能夠?qū)崿F(xiàn)高流量抽氣的渦輪分子泵（復(fù)合分子泵），尤其是在中間流區(qū)域。這拓寬了渦輪分子泵的工作范圍，使其能夠應(yīng)用于更廣泛的領(lǐng)域。此外，由于它們能夠在高背壓下運(yùn)行，因此也擴(kuò)大了輔助泵的選擇范圍。