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| ¥13600 |
| ≥1件 |
OSAKA/大阪真空
代理商
原廠
471
廣東深圳市
2026/1/27 17:59:31
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合 |
| 質(zhì)量范圍 | 1-512 amu | 桿材料 | 鉬 |
| 最大工作壓力 (EM) 最大工作壓力 (EM) | 1 E-5 mbar | 軸離子源 | 3E-4 A/mbar |
| 橫束離子源 | 7E-5 A/mbar | 交叉光束氣密離子源 | 7E-5 A/mbar |
| 帶磁鐵的橫束離子源 | 7E-4 A/mbar | 帶磁鐵的交叉光束氣密離子源 | 7E-4 A/mbar |
| 網(wǎng)格離子源 | 2E-4 A/mbar | 分辨率（可調(diào)） | 0.3 - 7 amu |
| 最小可檢測(cè)部分壓力 | 1 E-15 mbar | 帶電子倍增器的分壓比 | < 0.5 ppb |
| 最高工作溫度 工作溫度（傳感器和電子元件） | 150 °C | 測(cè)量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
OSAKAVACUUM大阪真空 TG350F 油旋式真空泵
OSAKAVACUUM大阪真空 TG350F 油旋式真空泵
自由安裝位置
小巧尺寸
節(jié)能
快速停止排氣
能抵抗大氣沖擊
可進(jìn)行串行通信
符合NRTL/SEMI-S2/CE安全標(biāo)準(zhǔn)
目的
■ 半導(dǎo)體制造
■ 電子槍排氣，離子源排氣
■ FPD制造
■ 表面處理和表面改性
■ 制造各種電子元件
■ 分析和測(cè)試設(shè)備
■ 管材制造、光學(xué)元件制造
■ 加速器、輻射設(shè)施和核聚變研究
■ 熱處理
■ 研究與開(kāi)發(fā)
*排放腐蝕性氣體時(shí)，請(qǐng)選擇與化學(xué)品兼容的 TG-M 或 TG 系列。
規(guī)格
外部尺寸
性能曲線
控制器
模型TG350F
進(jìn)氣法蘭 VG100
ISO-R100
CF100
泵送速度VG / ISO-R?CF
N 2 (升/秒)350 / 330
VG / ISO-R?CF
N 2（帶防護(hù)網(wǎng)）（L/s）330 / 310
VG / ISO-R?CF H2
( L/s)210 / 210
最大壓縮比 N21× 108
H22× 103
極限壓力 （帕/托）<1×10?? / <7.5× 10??
最大氣體流量*1(sccm)500
啟動(dòng)時(shí)間（分鐘） 2-2.5
停機(jī)時(shí)間（分鐘） 5-6.5
允許的輔助壓力（帕/托）260 / 2
推薦的備用泵（升/分鐘）≥80
安裝位置自由
大量的VG?ISO-R / CF(kg) 6/9
控制器模型TC353
*1：當(dāng)備用泵流量為 160 L/min 時(shí)， 允許流量。
[環(huán)境工作溫度]
保證極限壓力的環(huán)境溫度為 10 至 23°C。空冷機(jī)型的允許環(huán)境溫度為 10 至 32°C，水冷機(jī)型的允許環(huán)境溫度為 10 至 40°C。保證極限壓力的冷卻水溫度為 30°C 或以下，允許冷卻水溫度為 10 至 35°C。
[兼容氣體]
根據(jù)吸入氣體的類(lèi)型，可能會(huì)損壞軸承潤(rùn)滑脂和內(nèi)部零件。請(qǐng)聯(lián)系我們了解兼容氣體的相關(guān)信息。
采用油脂潤(rùn)滑滾珠軸承使得這些泵結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕、成本低廉。它們還具有很高的抗沖擊性，因此適用于安裝在便攜式設(shè)備或設(shè)備的移動(dòng)部件上，該系列產(chǎn)品探索了渦輪分子泵的新可能性。產(chǎn)品系列流量范圍從 50 升/秒到 2400 升/秒。
渦輪分子泵（復(fù)合分子泵）的泵送原理
渦輪分子泵由多級(jí)動(dòng)葉片和靜葉片組合而成。葉片傾角和旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系如下圖所示。來(lái)自高真空側(cè)的氣體分子在進(jìn)出動(dòng)葉片時(shí)會(huì)朝著不同的方向運(yùn)動(dòng)。然而，葉片的傾角和旋轉(zhuǎn)方向會(huì)將它們引導(dǎo)至后級(jí)，同時(shí)引導(dǎo)它們更容易穿過(guò)靜葉片。從后級(jí)穿過(guò)靜葉片并向后運(yùn)動(dòng)的氣體分子，也會(huì)因與動(dòng)葉片接觸而被引導(dǎo)至后級(jí)。葉片的傾角使得氣體分子能夠輕松地從前級(jí)通過(guò)（排氣方向和回流方向的流量差較大），而氣體分子則難以從后級(jí)向后運(yùn)動(dòng)（排氣方向和回流方向的流量比較大）。在分子流區(qū)域，動(dòng)葉片和靜葉片共同完成渦輪分子泵的基本功能。
我們?cè)趧?dòng)葉片和靜葉片的組合結(jié)構(gòu)中增加了一個(gè)“螺紋槽”。氣體分子被吸引到圓柱形旋轉(zhuǎn)部件（轉(zhuǎn)子）的壁面，最終沿著固定部件（定子）上的螺紋槽被送至背壓側(cè)。這種螺紋槽的作用使得泵不僅可以在分子流區(qū)域進(jìn)行抽氣，還可以在中間流區(qū)域進(jìn)行抽氣，從而制造出一種能夠?qū)崿F(xiàn)高流量抽氣的渦輪分子泵（復(fù)合分子泵），尤其是在中間流區(qū)域。這拓寬了渦輪分子泵的工作范圍，使其能夠應(yīng)用于更廣泛的領(lǐng)域。此外，由于它們能夠在高背壓下運(yùn)行，因此也擴(kuò)大了輔助泵的選擇范圍。
關(guān)聯(lián)品牌
大阪真空的業(yè)務(wù)領(lǐng)域，是通過(guò)真空泵以及相關(guān)技術(shù)·技能，為客戶(hù)提供符合其先端生產(chǎn)工程、分析、R&D等各個(gè)工作環(huán)節(jié)要求的真空系統(tǒng)。這里對(duì)先端的定義、是指在開(kāi)發(fā)新技術(shù)的同時(shí)，對(duì)原先的技術(shù)加以靈活運(yùn)用，實(shí)現(xiàn)設(shè)備的高度利用、安定利用，從而提高設(shè)備的使用效率。
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