OSAKAVACUUM大阪真空 TG800F 油擴(kuò)散真空泵
OSAKAVACUUM大阪真空 TG800F 油擴(kuò)散真空泵
TG-F系列柔性位置渦輪分子泵的特點(diǎn)
它可以從各個(gè)方向直接連接到柔性安裝
裝置上。這使得管道設(shè)計(jì)更簡(jiǎn)單,排氣效率更高。
它具有抗振動(dòng)和抗加速度
性能,即使在泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)也能移動(dòng)。經(jīng)證實(shí),即使在發(fā)生強(qiáng)烈地震的情況下,它也能重新啟動(dòng)。它還可以連接到排氣車和腔室門等運(yùn)動(dòng)部件上。
尺寸緊湊:
通過(guò)簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu),使其體積更小、重量更輕成為可能。
快速啟動(dòng)
:?jiǎn)?dòng)速度快,待機(jī)時(shí)間短。
該結(jié)構(gòu)能夠抵抗大氣沖擊
,并能承受突然的壓力增加,因此能夠有效應(yīng)對(duì)因泄漏而導(dǎo)致的突然停止、頻繁的啟動(dòng)和停止以及涉及大氣沖擊的重復(fù)操作。
長(zhǎng)期使用:
經(jīng)過(guò)適當(dāng)?shù)臋z修,該泵可長(zhǎng)期使用。*泵的設(shè)計(jì)壽命超過(guò)10萬(wàn)小時(shí)。
可進(jìn)行串行通信
,標(biāo)配符合 RS232C 標(biāo)準(zhǔn)的串行接口。
符合NRTL/SEMI-S2/CE安全標(biāo)準(zhǔn)
目的
半導(dǎo)體制造
電子槍排氣,離子源排氣
FPD制造
表面處理、表面改性
制造各種電子元件
分析和測(cè)試設(shè)備
管材制造、光學(xué)元件制造
加速器、輻射設(shè)施和核聚變研究
熱處理
研究與開發(fā)
*排放腐蝕性氣體時(shí),請(qǐng)選擇與化學(xué)品兼容的 TG-M 或 TG 系列。
控制器模型TC1104TC1103
輸入電壓(ACV)100-110 (±10%)
200-230 (±10%)200-230 (±10%)
輸入頻率(赫茲)50/6050/60
輸入相位數(shù)單相單相
最大功率需求(VA)610810
輸出頻率(赫茲)560560
質(zhì)量(千克)2.78.2
標(biāo)準(zhǔn)配件輸入接口:1個(gè);
遠(yuǎn)程接口:1個(gè);
串口通信接口:1個(gè);
使用說(shuō)明書(主機(jī)、串口通信):各1份輸入接口:1個(gè)
;遠(yuǎn)程接口:1個(gè)
;串口通信接口:1個(gè)
;鐵氧體磁芯:1個(gè);
使用說(shuō)明書(主機(jī)、串口通信):各1份
適用泵型號(hào)TG800FTG800F*A*-60
TG800F*W*
用戶評(píng)論
發(fā)布評(píng)論