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智能型滑軌式CVD系統(tǒng)產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 地礦,能源,鋼鐵/金屬,汽車及零部件,綜合 |
智能型滑軌式CVD系統(tǒng)詳細信息
BTF-1200C-SL-L-CVD是一款智能型滑軌式CVD系統(tǒng)。該設備主要分為五大部分：加熱系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，氣體控制供給系統(tǒng)，自動控制移動系統(tǒng)，控制軟件系統(tǒng)組成。爐膛為440mm溫區(qū)爐膛，配K型熱電偶，單點控溫；加熱爐置于滑軌上，可手動在規(guī)定的范圍內(nèi)任意滑動到想要的位置并用限位器固定??；氣路系統(tǒng)采用4路流量計控制，經(jīng)由不銹鋼混氣罐混合，再進入左端進氣法蘭；左端法蘭端蓋上預留1路進氣口，內(nèi)部有不銹鋼導氣管，可將氣體導入加熱區(qū)位置。該設備適用于高校研究所以及研發(fā)型企業(yè)使用。
額定功率 | 3KW(加熱爐膛) |
額定電壓 | 220V 50/60Hz |
最高溫度 | 1200℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min |
加熱區(qū)長度 | 440mm |
熱電偶 | K型熱電偶 |
控溫方式 | 10寸觸液晶屏觸摸控制，模糊PID控制和自整定調節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
爐體尺寸 | 220*750*1450mm（長*寬*高） |
設備凈重 | 300KG |
爐管尺寸 | 高純石英管Φ100*1650mm
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