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復(fù)合氧化物氫分離膜制備用CVD設(shè)備產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,綜合 |
復(fù)合氧化物氫分離膜制備用CVD設(shè)備詳細(xì)信息
主要特點(diǎn)
復(fù)合氧化物氫分離膜制備用CVD設(shè)備，可以實(shí)現(xiàn)在多孔氧化鋁陶瓷管和陶瓷片上化學(xué)沉積上氧化物(SiO2、Al2O3、TiO2、ZrO2)和復(fù)合氧化物(Al2O3-SiO2、SiO2-TiO2、SiO2- ZrO2)氫分離膜。
設(shè)備復(fù)合氧化物氫分離膜制備用CVD設(shè)備結(jié)構(gòu)
1) 主體加熱為三段加熱系統(tǒng)，最高使用溫度為1000℃;
2) 3個液態(tài)源加熱蒸發(fā)鼓泡器，最高溫度300℃，獨(dú)立控溫。
3) 3路進(jìn)氣系統(tǒng)，分別為氮?dú)狻鍤夂蜌錃?，皆可直接進(jìn)入混氣室載進(jìn)入真空腔體，且流量分別可控，流量計(jì)控制精度為±1.5%F.S。另外氮?dú)庾鳛榇祾邭?，分別通過流量計(jì)并列進(jìn)入三個液態(tài)源后再進(jìn)入混氣室，三路均配有單獨(dú)閥門控制。
4) 陶瓷盲管長620mm，外徑12mm，內(nèi)徑9mm。距離開口端250mm至350mm處，為孔徑0.2μm的沉積段，其余管外壁已釉封;
5) 陶瓷管開端在石英管一側(cè)固定并進(jìn)行陶瓷管的內(nèi)外密封(見示意圖1)。需要固定時間間隔，從陶瓷管內(nèi)進(jìn)行抽氣，滿足透出載氣的氣袋收集和流量檢測兩種功能，并實(shí)現(xiàn)兩種功能間的切換。
6) 陶瓷片樣品直徑30mm，厚度3mm。3個樣品臺，每個樣品臺上可同時放置3片陶瓷片樣品。
7) 設(shè)備空間盡量小。
8) 后端真空連接系統(tǒng).
技術(shù)參數(shù)
爐體架構(gòu) | 上下開啟式 |
額定功率 | 7KW |
額定電壓 | AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz |
最高溫度 | 1000°C |
持續(xù)工作溫度 | ≤900°C |
推薦升溫速率 | 0-20 ℃/min |
爐管材質(zhì) | 310S鋼管 |
爐管尺寸 | 異形鋼管Φ80*1200mm+Φ25mm |
保溫裝置 | 爐管兩端配有保溫水冷法蘭裝置，便于取放 |
加熱區(qū)長度加熱區(qū)長度 | 200+200+200mm |
恒溫區(qū)長度 | 400mm |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
爐膛材質(zhì) | 氧化鋁纖維 |
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