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迷你型CVD系統(tǒng)產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,綜合 |
迷你型CVD系統(tǒng)詳細(xì)信息
迷你型CVD系統(tǒng)加熱區(qū)參數(shù) | 爐管尺寸：外徑Φ25/50*600mm (管徑可選) 加熱元件；電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo） 恒溫區(qū)長度；80mm 工作溫度：1100℃ 推薦升溫速度：20℃/min 最快升溫速度：≤100℃/min 爐門結(jié)構(gòu)：開啟式 額定功率：2KW 外型尺寸：350×290×345 mm 標(biāo)準(zhǔn)配件：石英管1根，不銹鋼密封法蘭1套，硅膠密封圈2套，氧化鋁管堵4只，高溫手套1副，坩堝鉤1支，小保險(xiǎn)1個(gè)。 密封系統(tǒng)：爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭），端口可按實(shí)際使用擴(kuò)展。 |
迷你型CVD系統(tǒng)氣路系統(tǒng)參數(shù)
| 質(zhì)量流量計(jì)參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可選） 準(zhǔn)確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復(fù)精度：±0.2% 響應(yīng)時(shí)間：≤10sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa 最大壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表；－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 備注：可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計(jì)。 |
低真空系統(tǒng)參數(shù)
| 抽速：10m3/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220v 50hz 電機(jī)功率：0.4kw 進(jìn)排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機(jī)轉(zhuǎn)速：1440rpm 工作環(huán)境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計(jì)參數(shù)： 1.配用規(guī)管： 電阻規(guī)， 2.測量范圍： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.測量路數(shù)： 1路 4.控制范圍： 5×103 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載， 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
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