目錄:玉崎半導(dǎo)體(深圳)有限公司>>Kashiyama樫山工業(yè)>>螺桿式干泵>> NeoDry30G日本樫山工業(yè)Kashiyama 超節(jié)能干式真空泵
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更新時(shí)間:2026-06-11 15:55:09瀏覽次數(shù):18評(píng)價(jià)
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| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,汽車(chē)及零部件,電氣 |
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日本樫山工業(yè)Kashiyama 超節(jié)能干式真空泵
日本樫山工業(yè)Kashiyama 超節(jié)能干式真空泵
品牌:樫山工業(yè)(Kashiyama)
系列:NeoDry G(簡(jiǎn)稱 ND?G)
對(duì)應(yīng)國(guó)內(nèi)型號(hào):MU?GX 系列(同平臺(tái),命名差異)
定位:替代傳統(tǒng) MU?P/H、MU?X,主打節(jié)能 + 小型化 + 高真空 + 智能化,對(duì)標(biāo)國(guó)際一線干式泵。
| 型號(hào) | 抽速 (L/min) | 極限真空 (Pa) | 功耗 (kW) | 重量 (kg) | 冷卻 |
|---|---|---|---|---|---|
| ND100G | 1,660 | 1.5 | 0.35 | 55 | 水冷 |
| ND180G | 3,000 | 0.5 | 0.50 | 60 | 水冷 |
| ND300G | 5,000 | 0.5 | 0.55 | 80 | 水冷 |
| ND600G | 10,000 | 0.5 | 0.85 | 95 | 水冷 |
| ND1200G | 20,000 | 0.5 | 0.95 | 110 | 水冷 |
電源:三相 200V/400V(50/60Hz)
噪音:≤52dB(比同級(jí)別低 3–5dB)
接口:進(jìn)氣 NW40/NW80,排氣 NW40
材質(zhì):腔體 / 轉(zhuǎn)子不銹鋼 + 陶瓷涂層,無(wú)油高潔凈
**節(jié)能(*大賣(mài)點(diǎn))
比 MU?P/H 省電 40%–50%
比 MU?X 再省 10%–15%
待機(jī)功耗 <0.1kW,長(zhǎng)期運(yùn)行電費(fèi)顯著降低
小型化 + 輕量化
體積比 MU?P/H 小 30%–40%,重量輕 20%–30%
節(jié)省潔凈室空間,安裝更靈活
高真空 + 高潔凈
極限真空可達(dá) 0.5Pa,滿足半導(dǎo)體刻蝕、沉積等嚴(yán)苛工藝
無(wú)油設(shè)計(jì),腔體涂層防腐蝕、防粉塵,適配高潔凈環(huán)境
智能控制 + 低維護(hù)
標(biāo)配 Modbus?RTU,支持遠(yuǎn)程監(jiān)控、自診斷、變頻調(diào)速
支持 N? 吹掃(0–30 SLM),防結(jié)露、防腐蝕,延長(zhǎng)壽命
半導(dǎo)體:刻蝕、PECVD、離子注入、晶圓清洗
光學(xué) / 鍍膜:濺射、蒸發(fā)、OLED、真空熱處理
分析儀器:質(zhì)譜、SEM、XRD(低噪音 + 高穩(wěn)定)
精密化工:蒸餾、干燥、結(jié)晶(無(wú)油污染 + 節(jié)能)
NeoDry G(MU?GX):超節(jié)能 + 小型化 + 高真空,****
MU?X:標(biāo)準(zhǔn)節(jié)能型,性價(jià)比高,常規(guī)潔凈工藝
MU?P/H:通用 / 耐腐蝕型,重工況、高水汽、腐蝕環(huán)境
SD 系列:大流量螺桿泵,抽速 10,000–100,000 L/min,整線大系統(tǒng)
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)