目錄:玉崎半導體(深圳)有限公司>>Kashiyama樫山工業(yè)>>螺桿式干泵>> MU100GX日本樫山工業(yè)Kashiyama MU節(jié)能型干式泵
| 供貨周期 | 兩周 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
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日本樫山工業(yè)Kashiyama MU節(jié)能型干式泵
日本樫山工業(yè)Kashiyama MU節(jié)能型干式泵
| 型號 | 抽速 (L/min) | 極限真空 (Pa) | 功耗 (kW) | 尺寸 (mm) L×W×H | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|---|
| MU100GX | 1,660 | 1.5 | 0.35 | 230×575×530 | 55 |
| MU180GX | 3,000 | 0.5 | 0.50 | 230×575×530 | 60 |
| MU300GX | 5,000 | 0.5 | 0.55 | 275×580×625 | 80 |
| MU600GX | 10,000 | 0.5 | 0.85 | 275×580×625 | 95 |
| MU1200GX | 20,000 | 0.5 | 0.95 | 275×635×680 | 110 |
電源：三相 200V/400V（50/60Hz）
冷卻：水冷（0.2–0.5MPa），噪音 ≤52dB
接口：進氣 NW40/NW80，排氣 NW40
超節(jié)能（*大優(yōu)勢）
比 MU?P/H 省電 40%–50%；比 MU?X 再省 10%–15%。
低負載變頻，待機功耗 <0.1kW。
小型化 + 水冷
體積比 MU?P/H 小 30%–40%，重量輕 20%–30%。
水冷散熱，無油、低粉塵、低振動，適合潔凈室。
高潔凈 + 高真空
腔體 / 轉子：不銹鋼 + 陶瓷涂層，無油污染。
極限真空 0.5Pa（高款），滿足半導體 / 鍍膜高要求。
智能控制
標配 Modbus?RTU，可選變頻、遠程監(jiān)控、自診斷。
支持 N? 吹掃（0–30 SLM），防腐蝕、防結露。
半導體：刻蝕、沉積、離子注入、晶圓清洗（高潔凈）。
鍍膜 / 光學：濺射、蒸發(fā)、PECVD、OLED（高真空 + 低振動）。
分析儀器：質譜、SEM、XRD（低噪音 + 高穩(wěn)定）。
精密化工：蒸餾、干燥、結晶（無油污染 + 節(jié)能）。
預算緊、常規(guī)潔凈 → MU?X（性價比高）。
高潔凈、高精度、長期運行 → MU?GX（節(jié)能 + 小型化）。
腐蝕 / 高溫 / 高水汽 → MU?H（強化耐久）。
大流量、重工況 → SD 系列。
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