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| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
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Kashiyama樫山工業(yè)SDT螺桿式干式真空泵
Kashiyama樫山工業(yè)SDT螺桿式干式真空泵
Kashiyama（樫山工業(yè)）SD 系列干式真空泵
日本樫山工業(yè)（Kashiyama）旗下嚴(yán)苛制程專用干式螺桿真空泵，主打高耐腐蝕、超低功耗、小型化、高真空，面向半導(dǎo)體、化工、熱處理等高要求工業(yè)場景
泵型類別：立式螺桿干式真空泵（無油、無水汽污染）
核心特性：高耐蝕合金 + 氟陶瓷涂層、低功耗、小型化、高真空、長壽命
運(yùn)行范圍：抽速 10,000～100,000 L/min，極限真空 0.3～0.5 Pa，三相 200?220V/50?60Hz，連續(xù)運(yùn)行
核心優(yōu)勢：同級別占地*?。s 35%）、耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿、低能耗（1.5～3.7kW）、全系列 SEMI/CE 合規(guī)、維護(hù)周期長
泵腔主體采用高純度鎳基合金，耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿較普通不銹鋼提升 60%+。
轉(zhuǎn)子與泵腔內(nèi)壁氟基復(fù)合陶瓷涂層，耐溫 130℃，長期沖刷不脫落、不開裂。
螺桿等螺距變截面設(shè)計(jì)，減少腐蝕介質(zhì)殘留，適配含微量顆粒的腐蝕性氣體。
功耗 1.5～3.7kW，較同級別干泵節(jié)能 20%～30%，SDX 節(jié)能款適配熱處理與一般制程。
軟啟動(dòng)設(shè)計(jì)，啟動(dòng)電流低，無空載損耗，適配間歇 / 連續(xù)雙模式運(yùn)行。
20,000 L/min 級機(jī)型占地面積較前代縮減 35%，標(biāo)配腳輪，移動(dòng)部署靈活。
立式螺桿布局，重心穩(wěn)定，振動(dòng)低，適合潔凈廠房與精密設(shè)備鄰接安裝。
極限真空 0.3 Pa（SDT）/0.5 Pa（SDX/SDH），全壓力區(qū)間抽速穩(wěn)定。
無油設(shè)計(jì)，無油霧返染，適配半導(dǎo)體沉積、刻蝕、退火等高潔凈制程。
設(shè)計(jì)壽命 ≥20,000 小時(shí)，涂層與轉(zhuǎn)子耐磨耐腐，維護(hù)周期長。
氮?dú)獯祾撸?～120 SLM）防凝結(jié)、防沉積；低冷卻水量（3～4 L/min），運(yùn)維成本低。
符合 SEMI、CE、NRTL 等國際規(guī)格，絕緣等級高，防護(hù)可靠。
| 型號 | *大抽速（L/min） | 極限真空（Pa） | 功耗（kW） | 冷卻水量（L/min） | 氮?dú)獯祾撸⊿LM） |
|---|---|---|---|---|---|
| SDX600 | 10,000 | 0.5 | 1.5 | 3.0 | 0～80 |
| SDT600 | 18,000 | 0.3 | 3.0 | 4.0 | 0～120 |
| SDX1200 | 19,000 | 0.5 | 1.65 | 3.0 | 0～80 |
| SDT1200 | 30,000 | 0.3 | 3.15 | 4.0 | 0～120 |
| SDX1800 | 50,000 | 0.5 | 2.1 | 3.0 | 0～80 |
| SDT1800 | 50,000 | 0.3 | 3.3 | 4.0 | 0～120 |
| SDH3000 | 60,000 | 0.5 | 3.3 | 4.0 | 0～120 |
| SDH6000 | 100,000 | 0.5 | 3.7 | 4.0 | 0～ |
| 參數(shù)名稱 | SDX600 | SDT600 | SDX1200 | SDT1200 | SDH6000 |
|---|---|---|---|---|---|
| 供電電壓 | 三相 AC200?220V±10%/50?60Hz | 同左 | 同左 | 同左 | 同左 |
| *大抽速（L/min） | 10,000 | 18,000 | 19,000 | 30,000 | 100,000 |
| 極限真空（Pa） | 0.5 | 0.3 | 0.5 | 0.3 | 0.5 |
| 功耗（kW） | 1.5 | 3.0 | 1.65 | 3.15 | 3.7 |
| 冷卻水量（L/min） | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 4.0 |
| 氮?dú)獯祾撸⊿LM） | 0～80 | 0～120 | 0～80 | 0～120 | 0～120 |
| 噪音（dB (A)） | ≤58 | ≤60 | ≤58 | ≤60 | ≤62 |
| 運(yùn)行方式 | 連續(xù) | 連續(xù) | 連續(xù) | 連續(xù) | 連續(xù) |
| 設(shè)計(jì)壽命（小時(shí)） | ≥20,000 | ≥20,000 | ≥20,000 | ≥20,000 | ≥20,000 |
五、結(jié)構(gòu)與外觀
刻蝕、沉積、退火、離子注入、光刻膠去除、薄膜生長等高潔凈 / 腐蝕性制程。
無油、高真空、耐氟 / 氯 / 酸堿氣體，無返染風(fēng)險(xiǎn)，符合半導(dǎo)體潔凈標(biāo)準(zhǔn)。
蒸餾、精餾、干燥、脫氣、反應(yīng)釜真空、腐蝕性氣體輸送（SO?、HCl、NH? 等）。
鎳基合金 + 氟涂層，耐強(qiáng)腐蝕，適配含微量顆粒介質(zhì)，長周期連續(xù)運(yùn)行。
真空淬火、回火、退火、釬焊、燒結(jié)、真空熔煉、氣氛控制。
SDX 節(jié)能款適配常規(guī)熱處理，低功耗降低運(yùn)行成本。
晶硅 / 薄膜電池制程、真空鍍膜、硅片清洗、擴(kuò)散、PECVD。
高真空穩(wěn)定抽速，適配大產(chǎn)能生產(chǎn)線，維護(hù)周期長。
實(shí)驗(yàn)室高真空系統(tǒng)、模擬環(huán)境、精密儀器配套、航天部件測試。
極限真空低至 0.3 Pa，無油潔凈，振動(dòng)低，適配精密設(shè)備鄰接。
核心組件：立式螺桿轉(zhuǎn)子、鎳基合金泵腔、氟陶瓷涂層、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、冷卻水道、氮?dú)獯祾呓涌凇⑴艢庀羝?、控制柜?/p>
工作原理：電機(jī)驅(qū)動(dòng)一對等螺距變截面螺桿同步旋轉(zhuǎn)，腔體容積周期性變化，實(shí)現(xiàn)氣體吸入、壓縮、排出；無油干式運(yùn)行，氮?dú)獯祾叻乐垢g與凝結(jié)，冷卻系統(tǒng)控制泵體溫度，保障長期穩(wěn)定。
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