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更新時(shí)間：2026-06-08 11:36:59瀏覽次數(shù)：38評(píng)價(jià)
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| 供貨周期 | 兩周 |
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日本進(jìn)口DIC迪愛(ài)生 超純水防靜電裝置
日本進(jìn)口DIC迪愛(ài)生 超純水防靜電裝置
一、工作原理
超純水（DIW）從中空纖維膜內(nèi)側(cè)流過(guò)，CO?氣體從膜外側(cè)透過(guò)致密透氣膜溶解進(jìn)純水（膜只透氣、不透水）；
CO?溶于水電離出微量離子，提升純水導(dǎo)電能力、降低電阻率；
設(shè)備通過(guò)配比CO?飽和水 + 原生超純水的混合比例，閉環(huán)精準(zhǔn)控制出水電阻率，穩(wěn)定抑制靜電積累，杜絕清洗時(shí)靜電擊穿晶圓線(xiàn)路、粉塵靜電吸附問(wèn)題。
配套 CO?溶解模組原廠質(zhì)保5 年，壽命遠(yuǎn)優(yōu)于同類(lèi)競(jìng)品。
| 型號(hào) | 處理流量 (L/min) | 內(nèi)置膜芯模組 |
|---|---|---|
| eFLOW 1AP-B02 | 1～16 | PF-001L-NA×1 |
| eFLOW 2AP-B01 | 5～30 | PF-001L-ND2×2 |
| eFLOW 3AP-B01 | 10～50 | PF-001L-ND3×2 |
| 型號(hào) | 適用流量 (L/min) |
|---|---|
| 1AC-P201 | 1～16 |
| 2AC-P201 | 5～30 |
| 3AC-P201 | 10～50 |
二、C 系列（Cabinet 柜式整機(jī)，帶 CO?氣瓶倉(cāng) + 電阻率自控，落地一體機(jī)）
| 型號(hào) | 處理流量 (L/min) | 內(nèi)置膜芯模組 |
|---|---|---|
| eFLOW 1AC-P201 | 1～16 | PF-001L-NA×1 |
| eFLOW 2AC-P201 | 5～30 | PF-001L-ND2×2 |
| eFLOW 3AC-P201 | 10～50 | PF-001L-ND3×2 |
PF-001L-NA（適配 1AP/1AC 機(jī)型）
PF-001L-ND2（適配 2AP/2AC 機(jī)型）
PF-001L-ND3（適配 3AP/3AC 機(jī)型）
eFLOW 5AC/5AP：70～100L/min 超大流量定制款
30A-L1：小型簡(jiǎn)易 CO?防靜電單元（緊湊型模組）
電阻率穩(wěn)定性ji強(qiáng)：du有分流管路設(shè)計(jì)，流量波動(dòng)下出水阻值波動(dòng)極小，對(duì)比國(guó)產(chǎn)設(shè)備控值精度提升 60%，適配高精度晶圓切割 / 濕法清洗；
故障率低：無(wú)精密泵閥、無(wú)動(dòng)態(tài)密封結(jié)構(gòu)，模塊化構(gòu)造，運(yùn)維簡(jiǎn)單；
低水壓損耗：DIC 中空纖維膜低壓滲透，管路壓降小，不用額外增壓泵，節(jié)省純水站改造成本；
多功能拓展：除 CO?調(diào)質(zhì)防靜電，更換模組可實(shí)現(xiàn)純水脫氧、制備弱酸性功能清洗水、鍋爐給水除氧。
半導(dǎo)體晶圓：硅片 DICING 切割清洗、濕法槽洗、SC 清洗、Wafer 高壓噴淋；
面板 / 光學(xué)：LCD/OLED 基板清洗、掩模版 / 光罩清洗，防止靜電擊穿像素線(xiàn)路；
精密電子：PCB 超細(xì)線(xiàn)路清洗、元器件超純水漂洗；
其他：光伏硅片清洗、精密五金超純水防靜電噴淋、超聲波清洗線(xiàn)調(diào)質(zhì)用水。
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