日本進(jìn)口DIC迪愛生 緊湊型中空纖維脫氣模組
日本進(jìn)口DIC迪愛生 緊湊型中空纖維脫氣模組

一、核心材質(zhì)與特性

• 膜材質(zhì)：PTFE 中空纖維（全氟材質(zhì)）

• 接液部：全氟樹脂，無(wú)金屬析出、無(wú)離子污染

• 功能：真空脫氣（除 O?/CO?）+ 供氣（溶解 N?）兩用

• 耐化學(xué)：耐酸堿、醇類、酮類、光刻膠、剝離液、顯影液

• 不可用于純水長(zhǎng)期使用（純水優(yōu)先 EF 系列）

二、兩大子系列區(qū)別

1. PF?D 緊湊型（小流量，機(jī)臺(tái)內(nèi)置）

主打型號(hào)

• PF?004D：流量 1–100 mL/min，*小款，光刻膠、單點(diǎn)藥液

• PF?010D：10–200 mL/min，中流量藥液、CMP 支路

• 外殼：多為不銹鋼 / 氟塑，體積小巧

2. PF?F（DF 系列，耐溶劑加強(qiáng)版，大流量）

• 外殼：白色全氟塑料，耐溶劑更強(qiáng)

• 流量更大，適合產(chǎn)線主回路、批量制程

三、PF 系列主流型號(hào)參數(shù)（半導(dǎo)體bi用）

型號(hào)	流量	適用場(chǎng)景
PF?004D	1–100 mL/min	光刻膠、顯影液、小流量藥液
PF?010D	10–200 mL/min	CMP 研磨液、蝕刻液
PF?05F(DF?05)	1–100 mL/min	強(qiáng)溶劑、剝離液、**藥液
PF?10F(DF?10)	1–200 mL/min	中流量產(chǎn)線藥液

四、外觀實(shí)拍特征

• PF?D：不銹鋼外殼小型圓柱，精密接頭

• PF?F(DF)：白色全氟外殼，尺寸更長(zhǎng)

• 均帶：液體進(jìn)出嘴 + 真空抽氣口

五、EF / PF?D / PF?F 一句話區(qū)分

• EF 系列：PP 膜 → 純水、超純水

• PF?D 系列：PTFE 不銹鋼 → 普通藥液、小流量

• PF?F (DF) 系列：PTFE 全氟 → 強(qiáng)腐蝕溶劑、大流量**藥液