華南一級代理EBARA荏原 廢氣處理設(shè)備
華南一級代理EBARA荏原 廢氣處理設(shè)備

一、核心定位與用途

• 設(shè)備類型：燃燒分解 + 濕式洗滌（POU 末端處理）。

• 核心場景：半導(dǎo)體外延生長設(shè)備（MOCVD/MBE）、大流量氫氣工藝、含氯刻蝕 / 沉積、光伏 / 面板高負(fù)載廢氣。

• 處理對象：

• 超高流量H?（*大 200 L/min）、Cl?、HCl

• PFCs（CF?/C?F?等）、硅烷（SiH?）、TEOS、磷烷（PH?）、砷烷（AsH?）、NH?等。

二、型號與規(guī)格（標(biāo)準(zhǔn) / 防爆）

• 主流型號：

• G6?E A1～A4：標(biāo)準(zhǔn)非防爆型，燃料 = 城市燃?xì)狻?/p>

• G6?E P1～P4：防爆 / 特殊工況，燃料 = 丙烷。

• 核心參數(shù)（單臺）：

• *大進(jìn)氣量：400 L/min（約為 G5?350 的 1.1 倍）。

• *大 H?處理量：200 L/min（G5 系列無此高規(guī)格）。

• 進(jìn)氣口：6×NW40（兼容大流量總管）。

• 尺寸（寬 × 深 × 高）：1200×650×1900 mm（同 G5，緊湊型）。

• 電源：208/400 VAC，50/60 Hz，約 2.5 kVA（較 G5 略高）。

• 燃料消耗：天然氣約 22 slm / 丙烷約 9 slm（隨廢氣自動調(diào)節(jié)）。

• 水耗：工藝水約 12 L/min（節(jié)水型約 4 L/min）。

三、關(guān)鍵技術(shù)升級（對比 G5）

1. 大流量 H?專項(xiàng)優(yōu)化：專屬燃燒腔與混流設(shè)計(jì)，200 L/min H?穩(wěn)定處理，防回火 / 閃爆，適配外延高氫工況。

2. 高效 PFCs 分解：燃燒溫度場優(yōu)化，CF?去除率≥95%，C?F?≥98%，兼顧溫室氣體減排。

3. 副產(chǎn)物強(qiáng)處理：

• 燃燒區(qū)自動刮板 + 連續(xù)粉體排出（外延工藝粉塵量大）。

• 濕式段強(qiáng)化流水壁 + 多級除霧，減少堵塞與維護(hù)頻次。

4. 節(jié)能與智能：

• 按需燃燒（On?Demand）：燃料隨廢氣流量 / 組分自動配比，待機(jī)低耗。

• 遠(yuǎn)程監(jiān)控 / 聯(lián)鎖：熄火、超溫、壓力異常、液位保護(hù)，符合 SEMI?S2/CE/NRTL。

5. 維護(hù)友好：前門全開式設(shè)計(jì)，易檢修燃燒器 / 洗滌塔 / 管路；標(biāo)準(zhǔn)配件通用，降低運(yùn)維成本。

四、優(yōu)缺點(diǎn)總結(jié)

• 優(yōu)點(diǎn)：超高 H?處理能力、PFCs 高效分解、大流量混氣兼容、自動清灰長周期運(yùn)行、緊湊型占地。

• 局限：需燃料（天然氣 / 丙烷）、水耗高于 G5、初期投資更高、更適合大流量高負(fù)載場景（小流量工況性價比不如 G5）。

五、G5 vs G6?E 快速對比

• *大進(jìn)氣量：G5?350 為 350 L/min；G6?E 為 400 L/min。

• H?處理：G5 *高≤100 L/min；G6?E *高 200 L/min（專項(xiàng)優(yōu)化）。

• PFCs 效率：G5 高；G6?E 更高（溫度場優(yōu)化）。

• 副產(chǎn)物處理：G5 自動刮板；G6?E 強(qiáng)化刮板 + 連續(xù)排粉（適配外延粉塵）。

• 適用場景：G5 適合刻蝕 / 沉積、中小流量；G6?E 適合外延（Epitaxy）、大流量高氫。

六、選型建議

• 選G6?E：半導(dǎo)體外延、H?流量 > 100 L/min、含 Cl?/ 高粉塵、大流量總管（300–400 L/min）。

• 選G5：刻蝕 / 沉積、PFCs 為主、H?≤100 L/min、中小流量（≤350 L/min）、預(yù)算更敏感。