無水風(fēng)冷結(jié)構(gòu)，實(shí)驗(yàn)室部署零門檻

紅外鹵素?zé)魳O速升溫，溫場均勻穩(wěn)定

日本ADVANCE RIKO 空冷臺式紅外快速退火爐

多氣氛處理，適配各類材料熱處理需求

1. 大氣氛圍：常規(guī)氧化、烘干、薄膜耐熱測試；

2. 惰性氣體（N?/Ar）：隔絕氧氣，金屬、熱電材料退火；

3. 可控氣流氣氛：持續(xù)通入保護(hù)氣，還原、燒結(jié)實(shí)驗(yàn)；

4. 真空環(huán)境：搭配外置真空泵實(shí)現(xiàn)低真空退火，適配半導(dǎo)體晶圓、易氧化樣品。

   機(jī)身標(biāo)配數(shù)字氣體流量計(jì)，精準(zhǔn)調(diào)控保護(hù)氣通入流量，氣路采用標(biāo)準(zhǔn) 1/4 英寸世偉洛克快插接頭，拆裝管路便捷。

可編程智能溫控，支持電腦上位機(jī)聯(lián)動(dòng)

全面安全聯(lián)鎖防護(hù)，長時(shí)間實(shí)驗(yàn)無憂

主流適配應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體行業(yè)：硅片、化合物晶圓快速退火、基板光 CVD 預(yù)熱；

2. 薄膜涂層領(lǐng)域：光學(xué)膜、金屬鍍層耐高溫老化、耐熱性能評估；

3. 新材料研發(fā)：熱電材料、陶瓷、磁性材料、催化劑燒結(jié)；

4. 金屬工藝：小型金屬片退火、氫氣還原去除氧化層；

5. 高分子實(shí)驗(yàn)室：樹脂、有機(jī)薄膜低溫烘干、熱穩(wěn)定性測試；

6. 可靠性測試：零部件冷熱循環(huán)、高溫老化耐久實(shí)驗(yàn)。