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應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

美國艾默生TESCOM 高純氣體壓力調(diào)節(jié)器

主力細(xì)分系列說明

1、10-X 微型系列：超小型機(jī)身，適配設(shè)備 OEM 集成、MFC 前端點(diǎn)位，低壓小流量工況，標(biāo)配 VCR 接口，內(nèi)壁 10Ra 拋光，多用于設(shè)備內(nèi)部狹小空間氣源調(diào)節(jié)。2、64-3600 系列：經(jīng)典單級(jí)精密款， tied 膜片結(jié)構(gòu)，低壓穩(wěn)壓優(yōu)異，氣柜、點(diǎn)位終端通用，進(jìn)氣最高 3500PSIG。3、74-2400/74-3000 無螺紋系列：閥體內(nèi)部無加工螺紋，內(nèi)腔容積極小，減少氣體滯留污染，高流量 74-3000 適配吹掃大流量用氣。4、44-3400 雙級(jí)系列：雙級(jí)減壓結(jié)構(gòu)，大幅削弱進(jìn)氣壓力波動(dòng)，多用于氣瓶房匯流排高壓轉(zhuǎn)中壓，腐蝕性高危氣瓶首要選擇。

工作原理

氣源介質(zhì)進(jìn)入閥體后，依靠調(diào)節(jié)手輪壓縮彈簧推動(dòng)金屬膜片改變閥芯開合間隙，精準(zhǔn)控制出氣通徑實(shí)現(xiàn)壓力遞減穩(wěn)壓；金屬膜片隔絕閥體彈簧腔與介質(zhì)腔體，無填料滲漏點(diǎn)，氣體全程僅接觸不銹鋼與耐腐密封件，保障高純介質(zhì)不受雜質(zhì)污染，后端壓力出現(xiàn)波動(dòng)時(shí)膜片自適應(yīng)微調(diào)開度，穩(wěn)定輸出設(shè)定氣壓。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、金屬全膜片密封設(shè)計(jì)，無橡膠填料，氦檢漏率達(dá)標(biāo)半導(dǎo)體高純工況，不會(huì)析出微粒污染晶圓制程氣體。2、閥體采用 VAR 真空熔煉不銹鋼 + 電解拋光處理，內(nèi)壁光潔度 5~10Ra，有效降低氣體吸附、微粒脫落概率。3、雙級(jí)穩(wěn)壓型號(hào)可大幅緩沖前端氣源壓力突變，入口大范圍波動(dòng)時(shí)出口壓力變化極小，保護(hù)后端 MFC 精密元件。4、無內(nèi)螺紋機(jī)型內(nèi)腔空間緊湊，殘氣量少，設(shè)備換瓶、吹掃時(shí)氣體置換效率更高，節(jié)省特種工藝氣體損耗。5、膜片、閥座可選哈氏合金、PCTFE、Vespel 多種耐腐材質(zhì)，兼容酸性、鹵素、自燃型特種腐蝕氣體。6、標(biāo)準(zhǔn)化 VCR、IGS 半導(dǎo)體專用接口，直接對(duì)接行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)管路，安裝便捷，適配閥箱面板固定安裝。

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適用場景

1、半導(dǎo)體芯片：晶圓蝕刻、薄膜沉積、離子注入設(shè)備特氣供氣穩(wěn)壓；

2、特氣系統(tǒng)：車間氣瓶匯流排、中央供氣 BSGS 系統(tǒng)、氣體柜 GAS CABINET、VMB 閥箱點(diǎn)位調(diào)壓；

3、面板光伏：液晶面板、光伏電池片制程特種工藝氣體管路穩(wěn)壓；

4、實(shí)驗(yàn)室：半導(dǎo)體研發(fā)實(shí)驗(yàn)室高純氣源、微量配比試驗(yàn)氣源控制。

核心參數(shù)

進(jìn)氣壓力區(qū)間：最高 150~3500PSIG（10~241bar）分多檔選型

出氣調(diào)壓范圍：0.21~10.3bar 多規(guī)格量程可選

內(nèi)壁光潔：5Ra/10Ra 電解拋光

泄漏等級(jí)：滿足 SEMI F19 高純氣體規(guī)范，氦檢漏≤1×10?? mbar?L/s

適配介質(zhì)：惰性氣體、氫氣、硅烷、鹵素類腐蝕性特種工藝氣體

連接規(guī)格：1/4"、1/2" VCR/IGS 半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)接口

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