一、工作原理

二、系列量程劃分（PG 主力規(guī)格）

1. PG 小量程款：1～1000Pa，高真空側(cè)腔體監(jiān)測(cè)；

2. PG 標(biāo)準(zhǔn)款：0.1Pa～100kPa，行業(yè)通用主力，從高真空到粗真空全覆蓋；

   不同后綴代碼區(qū)分量程、輸出規(guī)格、接口螺紋（常用 R1/8、G1/8 標(biāo)準(zhǔn)真空螺紋）。

三、產(chǎn)品核心特點(diǎn)

1. 體積小巧易安裝：小型圓柱本體，標(biāo)準(zhǔn)真空螺紋直接擰入腔體預(yù)留接口，不用轉(zhuǎn)接法蘭，節(jié)省設(shè)備空間。

2. 抗油氣耐受性好：相比冷陰極規(guī)，少量油霧、揮發(fā)藥劑不會(huì)快速損壞傳感絲，真空泵含油工況可用。

3. 標(biāo)準(zhǔn)化信號(hào)輸出：主流 0～10V 電壓或 4-20mA 模擬信號(hào)，直接對(duì)接 PLC、數(shù)顯儀表，遠(yuǎn)程采集真空數(shù)據(jù)。

4. 溫度補(bǔ)償電路內(nèi)置：環(huán)境溫度波動(dòng)自動(dòng)補(bǔ)償，車間溫變環(huán)境測(cè)量數(shù)據(jù)不易漂移。

5. 功耗低、長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行：DC 低壓供電，適合設(shè)備 24 小時(shí)不間斷量產(chǎn)工況。

6. 可選分體表頭：探頭 + 外置數(shù)顯表成套，就地直觀查看真空數(shù)值。

四、適用場(chǎng)景

1. 真空鍍膜：光學(xué)鍍膜、PVD 設(shè)備腔體粗真空監(jiān)測(cè)；

2. 半導(dǎo)體設(shè)備：晶圓清洗腔體、干法工藝管路負(fù)壓管控；

3. 真空熱處理：回火爐、釬焊爐爐內(nèi)真空監(jiān)控；

4. 通用真空設(shè)備：檢漏臺(tái)、真空包裝、樹脂脫泡機(jī)負(fù)壓檢測(cè)。