美國(guó)mks 金屬密封熱式流量計(jì)

1. 品牌與型號(hào)

• 品牌：MKS Instruments（美國(guó)，半導(dǎo)體 / 真空領(lǐng)域頭部品牌）

• 型號(hào)：M330B Series（模擬式熱式質(zhì)量流量控制器）

• 產(chǎn)地：美國(guó)

• 核心定位：低壓降、金屬密封、高純氣體 / 半導(dǎo)體專用微量流量控制器

2. 測(cè)量原理與介質(zhì)

• 原理：恒溫差熱式質(zhì)量傳感（CTA），內(nèi)置 MKS 自研高精度熱傳感器，直測(cè)氣體質(zhì)量流量，不受溫度、壓力波動(dòng)影響，免溫壓補(bǔ)償。

• 介質(zhì)：高純氮?dú)猓∟?）、氧氣（O?）、氬氣（Ar）、NF?等潔凈非腐蝕性氣體，適配半導(dǎo)體特種氣體。

3. 核心技術(shù)參數(shù)

• 流量范圍：5–100 sccm（N?標(biāo)定，標(biāo)準(zhǔn)立方厘米 / 分鐘）

• 精度：±1% FS（全量程動(dòng)態(tài)控制范圍，N?標(biāo)定）

• 重復(fù)性：±0.2% FS

• 壓力降：≈5 Torr（5 sccm）；≈15 Torr（100 sccm），超低壓力損失

• 工作壓力：≤1200 Torr（≈1.6 bar）

• 介質(zhì)溫度：0–50 ℃

• 響應(yīng)時(shí)間：≤1 秒，快速穩(wěn)定控制

• 密封材質(zhì)：全金屬密封（無(wú)橡膠 / 彈性體），超高潔凈、無(wú)析出、耐烘烤

• 閥體材質(zhì)：316L 不銹鋼，** 電拋光（EP）** 處理，適配半導(dǎo)體高純環(huán)境

• 電氣接口：標(biāo)準(zhǔn) DB9（模擬信號(hào)：0–5V 或 4–20mA）

• 供電：±15 VDC（工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）

• 防護(hù)等級(jí)：IP40；符合 SEMI S2、RoHS 認(rèn)證

美國(guó)mks 金屬密封熱式流量計(jì)

4. 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì)

• 超低壓力降：專為低壓、真空、微量流量設(shè)計(jì)，幾乎不損失工藝壓力，氣體利用率高達(dá) 90%。

• 全金屬密封：無(wú)彈性體部件，避免橡膠老化與氣體析出，耐高溫烘烤、超高潔凈度，半導(dǎo)體 / 光刻 / 外延工藝首要選擇。

• 緊湊型設(shè)計(jì)：標(biāo)準(zhǔn) 3 英寸 MFC 安裝尺寸，兼容主流半導(dǎo)體設(shè)備安裝位，易于集成與替換。

• 長(zhǎng)壽命免維護(hù)：無(wú)運(yùn)動(dòng)部件，金屬密封無(wú)老化，支持24/7 連續(xù)運(yùn)行，降低運(yùn)維成本。

5. 典型應(yīng)用場(chǎng)景

• 半導(dǎo)體制造：CVD、PVD、刻蝕、離子注入、外延、擴(kuò)散工藝的微量高純氣體精密配比。

• SDS 特種氣體系統(tǒng)：ATMI/SDS 安全輸送系統(tǒng)指定 MFC，適配低壓特種氣體。

• 真空 / 低壓工藝：實(shí)驗(yàn)室、科研、精密制程中極低壓力損失的氣體流量測(cè)控。

• 高純氣體配送：光伏、LED、醫(yī)藥、特種材料行業(yè)微量氣體精確供給。