日本大倉Ohkura  高性能熱式質(zhì)量流量控制器

• 品牌：大倉電気株式會(huì)社（Ohkura）

• 型號(hào)：MF5100B

• 類型：高性能熱式質(zhì)量流量控制器（MFC）

• 測(cè)量原理：熱式質(zhì)量流量傳感 + 閉環(huán)控制

• 產(chǎn)地：進(jìn)口

• 核心用途：工業(yè)氣體流量控制，適用于半導(dǎo)體工藝、光伏、化工反應(yīng)、新能源電池制造、工業(yè)燃燒等大流量場景

• 核心優(yōu)勢(shì)：超寬流量范圍、低泄漏設(shè)計(jì)、3 種軟啟動(dòng)模式、高穩(wěn)定性、高耐壓、適配工業(yè)級(jí)工況、豐富的信號(hào)接口

1. 測(cè)量與控制性能

• 流量范圍：5 SCCM ~ 400 SLM

• 控制范圍：2% ~ 100% FS

• 線性度：±0.5% FS

• 重復(fù)性：±0.2% FS 以下

• 響應(yīng)時(shí)間：約 3 秒內(nèi)收斂到設(shè)定值的 ±2% FS 以內(nèi)

• 溫度穩(wěn)定性：±0.05%/℃

• 泄漏率：≤1×10?1? Pa?m3/s（He）

2. 流體與工況參數(shù)

• 適用氣體：氮?dú)?、氧氣、氬氣、氫氣、氦氣、二氧化碳等工業(yè)氣體（腐蝕性氣體可選）

• 最高工作壓力：1.0 MPa

• 耐壓：1.5 MPa

• 壓力損失：≤5.0 kPa

• 工作差壓：≥10 kPa（5~50SLM）/ ≥20 kPa（50~400SLM）

• 工作溫度：0℃ ~ 50℃

• 環(huán)境濕度：10% ~ 90% RH（無凝露）

3. 電氣與信號(hào)規(guī)格

• 供電電源：+15V DC（±5%）

• 功耗：≤3 VA

• 設(shè)定信號(hào)：0~5V DC（標(biāo)準(zhǔn)）

• 輸出信號(hào)：0~5V DC（標(biāo)準(zhǔn)）/ 1~5V DC（可選）

• 接口類型：DB9 連接器

• 閥門類型：電磁閥，內(nèi)置 3 種軟啟動(dòng)模式（設(shè)置變更時(shí) / 通電時(shí) / 外部閥門關(guān)閉時(shí)），啟動(dòng)時(shí)間最長 70 秒可調(diào)

4. 機(jī)械規(guī)格

• 外形尺寸：約 W60×D130×H80 mm

• 整機(jī)重量：約 800 g

• 接液材質(zhì)：SUS316 不銹鋼 / 高強(qiáng)度鋁合金（可選）

• 連接方式：1/4"、3/8"、1/2" 卡套接頭（可選規(guī)格）

日本大倉Ohkura  高性能熱式質(zhì)量流量控制器