日本富士科技FUJItechnology 氣動(dòng)真空蝶閥

  日本 FUJItechnology 富士科技專注真空流體控制領(lǐng)域，BV?NW63AXON 氣動(dòng)真空蝶閥采用半導(dǎo)體級(jí)潔凈設(shè)計(jì)，閥體與密封件無粉塵析出、耐真空放氣率低，可穩(wěn)定維持腔體高真空狀態(tài)。氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)開關(guān)快速，適配自動(dòng)化真空系統(tǒng)通斷控制，是半導(dǎo)體、精密真空設(shè)備中常用的核心管路閥件。

日本富士科技FUJItechnology 氣動(dòng)真空蝶閥

一、產(chǎn)品核心特點(diǎn)

1. 標(biāo)準(zhǔn) NW63 接口：通用卡箍式連接，拆裝便捷，適配主流真空管路；

2. 高真空密封性能：專用真空級(jí)密封材質(zhì)，放氣率低，密封性穩(wěn)定；

3. 氣動(dòng)快速啟閉：開關(guān)響應(yīng)迅速，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化通斷控制；

4. 半導(dǎo)體潔凈等級(jí)：閥體拋光處理，無油污、無析出，適配無塵真空環(huán)境；

5. 耐腐蝕長壽命：不銹鋼閥體，耐酸堿、耐老化，適合長期連續(xù)使用。

二、性能優(yōu)勢(shì)

1. 結(jié)構(gòu)緊湊，占用管路空間小，便于設(shè)備集成；

2. 可搭配位置信號(hào)反饋，實(shí)時(shí)監(jiān)控閥門開關(guān)狀態(tài)；

3. 抗振動(dòng)、抗沖擊，適配真空設(shè)備連續(xù)運(yùn)行工況；

4. 日本原廠精密加工，漏率低，真空穩(wěn)定性強(qiáng)。

三、主要應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體行業(yè)：PVD/CVD 鍍膜設(shè)備、晶圓真空腔體、真空傳輸管路

• 真空設(shè)備：真空泵、真空發(fā)生器、檢漏設(shè)備、精密真空測(cè)試系統(tǒng)

• 科研工業(yè)：實(shí)驗(yàn)室真空裝置、精密材料處理、惰性氣體真空管路

四、安裝與使用

五、售后服務(wù)