韓國(guó) INNODIS QDR 耐腐蝕氣動(dòng)止回閥 

INNODIS QDR 系列是專為高純腐蝕介質(zhì)設(shè)計(jì)的氣動(dòng)驅(qū)動(dòng) + 單向密封止回閥，結(jié)合 PFA 全氟材質(zhì)與氣動(dòng)輔助復(fù)位，在半導(dǎo)體、化工藥液管路中實(shí)現(xiàn)可靠防回流、防虹吸、防水錘，兼容自動(dòng)化聯(lián)鎖控制，是高純流體系統(tǒng)安全防護(hù)的關(guān)鍵閥件。

韓國(guó) INNODIS QDR 耐腐蝕氣動(dòng)止回閥 

 核心產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

PFA 通體耐腐，高純低析出

閥體、閥瓣、密封件均為高純 PFA，耐受、強(qiáng)酸強(qiáng)堿、臭氧、有機(jī)溶劑等強(qiáng)腐蝕介質(zhì)；材質(zhì)低溶出、低吸附、無(wú)顆粒釋放，符合半導(dǎo)體超凈制程與高純度化學(xué)品輸送要求。

氣動(dòng)輔助單向密封，零泄漏防回流

采用氣動(dòng)復(fù)位 + 介質(zhì)自驅(qū)雙重密封機(jī)制：正向介質(zhì)壓力開啟，反向時(shí)氣動(dòng)彈簧 + 介質(zhì)背壓雙向壓緊密封面，零泄漏阻斷回流；內(nèi)置 Mega Lock 密封結(jié)構(gòu)，密封力均勻、抗疲勞，長(zhǎng)期運(yùn)行無(wú)滴漏。

自動(dòng)防回流 + 自動(dòng)化兼容，安全聯(lián)鎖

無(wú)需人工干預(yù)，介質(zhì)流向自動(dòng)啟閉，防止泵反轉(zhuǎn)、介質(zhì)倒灌與交叉污染；氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)可接入 PLC 系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控、報(bào)警聯(lián)鎖，適配半導(dǎo)體 Fab 與化工自動(dòng)化產(chǎn)線。

高潔凈，易清洗免維護(hù)

流路直通無(wú)滯留、死區(qū)極小，內(nèi)壁光滑不易結(jié)垢結(jié)晶，適配 CIP 在位清洗；無(wú)填料、無(wú)外漏，長(zhǎng)期免維護(hù)，降低高純系統(tǒng)污染風(fēng)險(xiǎn)與運(yùn)維成本。

工況適配廣，結(jié)構(gòu)緊湊易安裝

工作溫度 -20～180℃，工作壓力 0～0.6MPa，兼容冷熱交替與中高壓藥液管路；緊湊型設(shè)計(jì)，標(biāo)準(zhǔn)入珠 / 法蘭接口，安裝空間小、拆裝便捷。

 典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體濕法制程（核心）

晶圓蝕刻 / 清洗 / 剝離設(shè)備：HF、HCl、NaOH、氨水等腐蝕藥液管路防回流、防虹吸。

集中化學(xué)品供給系統(tǒng)：支路切斷與防倒灌保護(hù)，避免不同藥液交叉污染。

超純水（UPW）與臭氧水回路：防水錘、防倒流，保障高純水質(zhì)穩(wěn)定。

化工精細(xì)流體輸送

精細(xì)化工反應(yīng)釜 / 儲(chǔ)罐出口：高純?cè)噭?、催化劑、?qiáng)氧化介質(zhì)防回流，保護(hù)設(shè)備與制程安全。

酸堿廢液 / 廢氣洗滌塔管路：腐蝕廢液?jiǎn)蜗蚋綦x，防止倒灌污染上游系統(tǒng)。

光電 / 光伏行業(yè)

顯示面板 / 光伏電池片濕制程：腐蝕液、清洗液、剝離液管路防倒流，保障制程一致性與良率。

高純水與制藥輔助系統(tǒng)

制藥注射用水（WFI）、純蒸汽回路：無(wú)菌防回流，符合 GMP 與 FDA 認(rèn)證要求。

實(shí)驗(yàn)室高純?cè)噭┕苈罚喝?/ 旁路防倒流，防止污染試劑源。