美國Pivotal Systems熱式氣體流量控制器

Pivotal Systems GFC-T 是美國 Pivotal Systems 推出的傳統(tǒng)熱式原理氣體流量控制器（MFC），專為對成本敏感、工況穩(wěn)定的工業(yè)場景設(shè)計(jì)，基于成熟的熱傳導(dǎo)測量技術(shù)，是半導(dǎo)體制造、工業(yè)制程中廣泛應(yīng)用的經(jīng)典流量控制方案。

美國Pivotal Systems熱式氣體流量控制器

五大核心產(chǎn)品優(yōu)勢

1. 成熟熱式技術(shù)，成本可控穩(wěn)定可靠

采用行業(yè)通用的熱式流量測量原理，技術(shù)成熟、成本適中，適配對預(yù)算敏感、工況穩(wěn)定的生產(chǎn)場景，是傳統(tǒng)半導(dǎo)體產(chǎn)線中應(yīng)用流量控制方案之一。

2. 寬流量覆蓋，適配中小流量工藝

流量范圍覆蓋 0.025~2000 sccm，可滿足大部分中小流量工藝需求，如半導(dǎo)體刻蝕、沉積中的輔助氣體、吹掃氣控制，以及實(shí)驗(yàn)室科研、工業(yè)制程中的常規(guī)氣體配比。

3. 標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)，兼容性強(qiáng)易集成

采用行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的外形尺寸、接口定義和通訊協(xié)議，可直接替換傳統(tǒng)品牌熱式 MFC，無需對設(shè)備進(jìn)行大規(guī)模改造，降低系統(tǒng)升級和維護(hù)成本。

4. 工業(yè)級耐用性，適配常規(guī)生產(chǎn)環(huán)境

專為工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)，具備抗振動、抗電磁干擾能力，可在常規(guī)半導(dǎo)體車間、工業(yè)廠房環(huán)境中連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，滿足 24/7 生產(chǎn)需求。

5. 全流程支持，維護(hù)成本低

提供標(biāo)準(zhǔn)化的校準(zhǔn)服務(wù)和技術(shù)支持，可通過定期零點(diǎn)校準(zhǔn)維持精度；備件通用性強(qiáng)，維護(hù)成本可控，適合長期批量使用。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造：常規(guī)刻蝕、沉積工藝中的輔助氣體、保護(hù)氣流量控制。

工業(yè)制程：精密熱處理、涂層設(shè)備、氣體分析儀器的常規(guī)流量控制。

實(shí)驗(yàn)室科研：氣體配比、等離子體研究、真空工藝系統(tǒng)的流量調(diào)節(jié)。

通用工業(yè)場景：食品包裝、化工過程控制中的惰性氣體流量監(jiān)控。