德國(guó)普發(fā)高性能渦輪分子泵工業(yè)級(jí)高真空設(shè)備

五大核心產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. 高抽速 + 高壓縮比，超高真空快速達(dá)成

氮?dú)獬樗?260 L/s，輕氣體（H?/He）抽速優(yōu)異，適配小分子氣體高真空需求。

超高壓縮比（Ar 達(dá) 10?），殘余氣體背景極低，滿足質(zhì)譜、半導(dǎo)體等嚴(yán)苛場(chǎng)景

2. 復(fù)合軸承技術(shù)，長(zhǎng)壽命 + 低維護(hù)

前級(jí)側(cè)陶瓷球軸承 + 高真空側(cè)永磁徑向軸承，免電磁線圈，磨損極小。

保養(yǎng)間隔約 4 年，現(xiàn)場(chǎng) 30 分鐘可完成軸承更換，運(yùn)維成本低

3. 集成驅(qū)動(dòng) + 智能監(jiān)控，即插即用

內(nèi)置 TC400 控制器，無(wú)需額外驅(qū)動(dòng)，搭配 DCU 電源即可運(yùn)行。

自診斷系統(tǒng)實(shí)時(shí)監(jiān)控轉(zhuǎn)速、溫度、電流，支持遠(yuǎn)程告警與故障定位。

4. 緊湊輕量化，安裝靈活適配多場(chǎng)景

體積小、重量輕（12 kg），任意角度安裝，適配機(jī)柜、腔體側(cè)面 / 頂部安裝。

風(fēng)冷 / 水冷可選，兼容高氣體負(fù)荷與連續(xù)工業(yè)運(yùn)行。

5. 工業(yè)級(jí)可靠性，嚴(yán)苛工況穩(wěn)定運(yùn)行

IP54 防護(hù)，抗粉塵與濕氣；全金屬結(jié)構(gòu)，低振動(dòng)、低噪音（＜50 dB）。

適配半導(dǎo)體、鍍膜、冶金、分析儀器等 24/7 連續(xù)生產(chǎn)場(chǎng)景

德國(guó)普發(fā)高性能渦輪分子泵工業(yè)級(jí)高真空設(shè)備典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體行業(yè)：晶圓沉積、刻蝕、離子注入、真空檢測(cè)設(shè)備高真空主泵。

真空鍍膜：光學(xué)鍍膜、PVD/CVD、磁控濺射設(shè)備高真空獲得。

分析儀器：質(zhì)譜（MS）、電子顯微鏡（SEM/TEM）、X 射線衍射儀超高真空系統(tǒng)。

工業(yè)科研：真空熱處理、釬焊、空間模擬、加速器、核聚變裝置高真空應(yīng)用。

通用高真空：檢漏設(shè)備、真空爐、冷凍干燥、環(huán)境測(cè)試艙等。