韓國垂直腔體等離子處理系統(tǒng)清洗機(jī)

產(chǎn)品介紹

本產(chǎn)品為韓國 FEMTOSCIENCE 品牌 VITA 8 系列立式真空等離子清洗機(jī)，是專為半導(dǎo)體晶圓、薄件材料、中批量工業(yè)生產(chǎn)設(shè)計(jì)的工業(yè)級(jí)等離子表面處理系統(tǒng)。

設(shè)備采用一體化立式柜式機(jī)身設(shè)計(jì)，搭載工業(yè)級(jí)智能觸摸編程控制系統(tǒng)，內(nèi)置垂直式大容積高潔凈度不銹鋼真空處理腔體，在低氣壓真空環(huán)境下激發(fā)穩(wěn)定均勻的等離子體，以干法物理化學(xué)協(xié)同作用完成工件表面處理。全程無需化學(xué)有機(jī)溶劑，無廢水廢液污染，屬于綠色潔凈干法工藝，可精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓、薄件表面有機(jī)污染物去除、微觀雜質(zhì)清洗、材料表面親水化活化、界面附著力提升等處理效果。

垂直式腔體結(jié)構(gòu)專為晶圓、薄件等對(duì)放置方式敏感的工件設(shè)計(jì)，處理過程無應(yīng)力損傷，適配半導(dǎo)體行業(yè)需求；整機(jī)支持多種工藝氣體靈活切換，功率、真空度、處理時(shí)間全參數(shù)可編程調(diào)控，內(nèi)置多套工藝配方存儲(chǔ)調(diào)用，可滿足不同工業(yè)材料的處理需求；腔體自帶可視化觀察窗口，運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)可見，搭配多重安全聯(lián)鎖防護(hù)設(shè)計(jì)，機(jī)身運(yùn)行穩(wěn)定可靠。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓處理、中批量微電子元器件生產(chǎn)、高分子薄件材料改性、精密光學(xué)件處理、醫(yī)療器械耗材批量生產(chǎn)等場(chǎng)景，解決材料粘膠差、結(jié)合力不足、表面活性低等行業(yè)痛點(diǎn)。

韓國垂直腔體等離子處理系統(tǒng)清洗機(jī)產(chǎn)品核心特性

韓國原廠工業(yè)級(jí)等離子技術(shù)

源自韓國 FEMTOSCIENCE 專業(yè)等離子設(shè)備品牌，核心等離子技術(shù)成熟穩(wěn)定，等離子密度分布均勻，處理效果一致性高，是半導(dǎo)體與工業(yè)領(lǐng)域高可靠性設(shè)備。

垂直式晶圓友好腔體設(shè)計(jì)

垂直式腔體結(jié)構(gòu)，專為晶圓、薄件等對(duì)放置方式敏感的工件優(yōu)化，處理過程無機(jī)械應(yīng)力，避免工件變形或損傷，是半導(dǎo)體行業(yè)的理想選擇。

工業(yè)級(jí)批量處理能力

大容積垂直腔體，支持多件工件 / 晶圓同時(shí)裝載處理，可滿足中批量工業(yè)生產(chǎn)需求，在保證處理均勻性的同時(shí)大幅提升生產(chǎn)效率。

智能觸屏工業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)

搭載高清工業(yè)觸控觸摸屏，全流程參數(shù)可視化調(diào)節(jié)，支持工藝程序自定義編輯、配方存儲(chǔ)與批量調(diào)用，適配產(chǎn)線級(jí)穩(wěn)定運(yùn)行需求，操作便捷高效。

多工藝適配工業(yè)材料處理

兼容氧氣、氬氣、氮?dú)獾榷囝惞に嚬ぷ鳉怏w，適配半導(dǎo)體、微電子、塑膠、金屬、玻璃、醫(yī)療器械、高分子材料等絕大多數(shù)工業(yè)材質(zhì)工件，覆蓋中批量工業(yè)生產(chǎn)全場(chǎng)景表面處理需求。